HOYA株式会社相泽毅获国家专利权
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龙图腾网获悉HOYA株式会社申请的专利压印模具的制造方法、压印模具、模具坯料、及光学元件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114521286B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080067642.7，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权压印模具的制造方法、压印模具、模具坯料、及光学元件的制造方法是由相泽毅设计研发完成，并于2020-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本压印模具的制造方法、压印模具、模具坯料、及光学元件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供压印模具1及其相关技术，该压印模具1具有构成给定的模具图案的多个凹部1c，其中，在基板2上具有包含多个模具基材层4、和介于该模具基材层4之间的蚀刻停止层3的层叠体，层叠体具有深度互不相同的多个凹部1c，模具基材层4和蚀刻停止层3由相互具有蚀刻选择性的材料形成，多个凹部1c分别具有蚀刻停止层3露出而成的底面。
本发明授权压印模具的制造方法、压印模具、模具坯料、及光学元件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种压印模具的制造方法，所述压印模具具有构成给定的模具图案的多个凹部， 该制造方法包括： 准备模具坯料的工序，所述模具坯料在基板上形成有包含多个模具基材层、和介于该模具基材层之间的蚀刻停止层的层叠体，并在该层叠体上形成有硬掩模层； 硬掩模图案化工序，基于所述模具图案的设计对所述硬掩模层进行蚀刻而形成硬掩模图案； 凹部形成工序，将在设置有所述硬掩模图案的所述层叠体上形成的给定的抗蚀图案及所述硬掩模图案作为掩模，实施N次对所述模具基材层、或对蚀刻停止层及所述模具基材层进行蚀刻的模具挖入蚀刻，由此形成深度互不相同的所述多个凹部，其中N为2以上的整数；以及 将所述硬掩模图案除去的工序， 所述模具基材层和所述蚀刻停止层由相互具有蚀刻选择性的材料形成， 所形成的所述多个凹部分别具有所述蚀刻停止层露出而成的底面， 所述模具图案被转印至被转印体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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