开元通信技术(厦门)有限公司蒋将获国家专利权
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龙图腾网获悉开元通信技术(厦门)有限公司申请的专利射频滤波器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113644890B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010346809.5,技术领域涉及:H03H3/08;该发明授权射频滤波器及其制备方法是由蒋将;李平;王伟;胡念楚;贾斌设计研发完成,并于2020-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频滤波器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种射频滤波器及其制备方法,其中,所述射频滤波器的制备方法,包括:在基体上形成密封外墙和支撑电极;在载片上形成牺牲层,并在所述牺牲层上形成空腔密封外壳和键合电极;将所述密封外墙和支撑电极与所述键合电极键合连接;通过腐蚀所述牺牲层去除所述载片。本发明通过腐蚀牺牲层的方法剥离临时键合载片,由此可以无损去除保护性临时载片,使得载片可以重复使用,提高了载片的利用率,极大的降低了封装成本。
本发明授权射频滤波器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种射频滤波器的制备方法,其特征在于,包括: 在基体上形成密封外墙和支撑电极,其中,所述基体与所述支撑电极之间形成有晶圆电极; 在载片上形成牺牲层,并在所述牺牲层上形成空腔密封外壳和键合电极; 将所述密封外墙和支撑电极与所述键合电极键合连接; 通过腐蚀所述牺牲层去除所述载片; 其中,所述密封外墙呈环形,凸设于所述基体的表面,环形密封外墙、所述基体、所述密封外壳及键合电极之间形成一封闭空间; 所述支撑电极呈柱形,凸设于所述基体的表面,且位于所述环形密封外墙内、所述封闭空间中; 所述密封外墙及所述支撑电极均具有凸台结构,所键合电极具有凹口结构,所述凸台结构与所述凹口结构相对设置; 所述凸台结构包括第一部分和第二部分,第一部分和所述基体表面连接,所述第二部分伸入所述凹口与所述键合电极连接,所述第二部分的宽度小于所述凹口的宽度,所述凹口的宽度小于所述第一部分的宽度。
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