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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利高压滤波器组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112997401B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980074332.5，技术领域涉及：H03H7/40；该发明授权高压滤波器组件是由A·K·米什拉;J·罗杰斯;L·多尔夫;R·丁德萨;O·卢艾莱设计研发完成，并于2019-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本高压滤波器组件在说明书摘要公布了：本文描述的实施例适用于在所有类型的等离子体辅助的或等离子体增强的处理腔室中使用，并且还适用于基板的等离子体辅助的或等离子体增强的处理的方法。更具体地，本公开的实施例包括宽带滤波器组件，在本文中也称为滤波器组件，宽带滤波器组件配置为减少和或防止RF泄漏电流通过与RF驱动的部件和接地直接或间接电耦接的其他电气部件从一个或多个RF驱动的部件传送到接地、具有高输入阻抗低电流损耗使其能与成形DC脉冲偏压应用兼容。

本发明授权高压滤波器组件在权利要求书中公布了：1.一种滤波器组件，包括： 第一导电引线和第二导电引线； 所述滤波器组件的输出端，其中所述第一导电引线和第二导电引线被配置为电耦接至电源； 所述滤波器组件的输入端； 第一阻抗产生元件，所述第一阻抗产生元件在所述滤波器组件的所述输出端处电耦接至所述第一导电引线和所述第二导电引线； 多个第二阻抗产生元件，所述多个第二阻抗产生元件在所述第一阻抗产生元件与所述滤波器组件的所述输入端之间以串联方式电耦接，所述多个第二阻抗产生元件中的每个阻抗产生元件包括： 围绕环形芯的部分缠绕的所述第一导电引线的部分；以及 围绕所述环形芯的部分缠绕的所述第二导电引线的部分，其中所述多个第二阻抗产生元件中的每个串联耦接的第二阻抗产生元件的阻抗从所述输入端到设置在所述多个第二阻抗产生元件与所述第一阻抗产生元件之间的一点处增加； 第一接地阻抗产生元件，所述第一接地阻抗产生元件在设置在所述多个第二阻抗产生元件与所述第一阻抗产生元件之间的所述一点处耦接至所述第一导电引线；以及 第二接地阻抗产生元件，所述第二接地阻抗产生元件在设置在所述多个第二阻抗产生元件与所述第一阻抗产生元件之间的所述一点处耦接至所述第二导电引线，其中所述第一阻抗产生元件的阻抗大于所述第一接地阻抗产生元件的阻抗和所述第二接地阻抗产生元件的阻抗。

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