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龙图腾网获悉蒙城繁枫真空科技有限公司申请的专利一种独立双腔室电子枪蒸发镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120026284B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510514276.X，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权一种独立双腔室电子枪蒸发镀膜设备是由刘华林;李剑飞;苗伟伟;王超;郝文涛设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种独立双腔室电子枪蒸发镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种独立双腔室电子枪蒸发镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域。包括设备底板，所述设备底板上固定安装有上腔室与下腔室，所述设备底板的侧端面固定安装有真空泵，所述真空泵的输入端固定连通有排出管，所述排出管远离真空泵的一端固定连通有双通管，所述双通管的两端分别与上腔室与下腔室连通，所述双通管的管路上均设置有阀门；所述上腔室与下腔室的内部结构相同，所述上腔室的内部有驱动组件，所述驱动组件上设置有坩埚与电子枪；所述上腔室的内部设置有转动组件。该发明通过驱动组件、转动组件与辅助组件的配合使用，优化了物料加热、蒸发和基片镀膜的过程，有效提高了设备的镀膜效果和整体工作效率。

本发明授权一种独立双腔室电子枪蒸发镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种独立双腔室电子枪蒸发镀膜设备，包括设备底板（1），其特征在于：所述设备底板（1）上固定安装有上腔室（2）与下腔室（3），所述设备底板（1）的侧端面固定安装有真空泵（4），所述真空泵（4）的输入端固定连通有排出管（5），所述排出管（5）远离真空泵（4）的一端固定连通有双通管（6），所述双通管（6）的两端分别与上腔室（2）与下腔室（3）连通，所述双通管（6）的管路上均设置有阀门（7）； 所述上腔室（2）与下腔室（3）的内部结构相同，所述上腔室（2）的内部有驱动组件，所述驱动组件上设置有坩埚（8）与电子枪（9）； 所述上腔室（2）的内部设置有转动组件，通过所述转动组件对基片进行正反面翻转； 所述驱动组件包括固定安装有上腔室（2）内底部的驱动电机（10），所述驱动电机（10）的输出端固定安装有驱动轴（11），所述驱动轴（11）远离驱动电机（10）的一端固定安装有放置板（12），所述驱动轴（11）上固定安装有驱动齿轮（13），所述上腔室（2）的内底部转动安装有两个对称布置的辅助轴（14），两个所述辅助轴（14）上分别固定安装有左齿轮（15）与右齿轮（16），所述上腔室（2）的内侧面开设有下环形槽（17），所述下环形槽（17）的内部转动安装有环形板（18），所述环形板（18）的下端面固定安装有环形块（19），所述环形块（19）的内侧面固定安装有第一齿轮组（20），所述环形板（18）上固定安装有对称布置的L型架板（21），所述L型架板（21）上设置有辅助组件，所述辅助组件上设置有安装环（22），所述放置板（12）的位置处于环形板（18）的内侧，所述驱动齿轮（13）与左齿轮（15）、右齿轮（16）啮合，所述第一齿轮组（20）与左齿轮（15）、右齿轮（16）啮合，所述坩埚（8）安装在放置板（12）上，所述电子枪（9）固定安装在安装环（22）的内部。

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