中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所肖捷翔获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利一种氮化镓剥离方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119967954B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510446615.5，技术领域涉及：H10H20/01；该发明授权一种氮化镓剥离方法及装置是由肖捷翔;易觉民;王萌艺;徐科设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化镓剥离方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氮化镓剥离方法及剥离装置。所述方法包括：使第一激光和第二激光合束并照射氮化镓外延片，且使第一激光及第二激光的聚焦光斑在氮化镓外延片的氮化镓层与衬底的界面处重合，从而将氮化镓层与衬底分离。本发明利用飞秒脉冲辅助纳秒脉冲对氮化镓外延片进行照射，使同时具备纳秒激光的热加工与飞秒激光的冷加工效果，从而有效地减小氮化镓材料的烧蚀，使得氮化镓层和衬底平滑分离。
本发明授权一种氮化镓剥离方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种氮化镓剥离方法，其特征在于，包括： 提供氮化镓外延片，所述氮化镓外延片包括衬底和生长在衬底上的氮化镓层； 使第一激光和第二激光合束并照射所述氮化镓外延片，且使所述第一激光及第二激光的聚焦光斑在所述氮化镓层与衬底的界面处重合，从而将所述氮化镓层与衬底分离； 其中，所述第一激光和第二激光均为脉冲激光，并且所述第一激光能够在所述氮化镓层与衬底的界面处发生单光子吸收，所述第二激光能够在所述氮化镓层与衬底的界面处发生双光子吸收； 还包括使所述第一激光和第二激光合束形成的合束激光聚焦于所述氮化镓层与衬底的界面处，并采用两束激光的最佳功率组合和最佳光斑大小，使所述合束激光的聚焦光斑从所述氮化镓层与衬底的界面的边缘向内部扫描，从而将所述氮化镓层与衬底分离； 所述两束激光的最佳功率组合的获取包括：在合束激光聚焦至界面处后线性改变两束激光的功率，每次改变后在氮化镓样品的界面上激光扫描一行，选择界面处分解最为平滑的功率组合作为最佳功率组合；所述最佳光斑大小的获取包括：在获得最佳功率组合后改变两束激光的光斑大小，每次改变后在界面上激光扫描一行，根据界面处的分解情况选择剥离效率最佳的作为最佳光斑大小。
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