中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所肖捷翔获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利一种氮化镓材料的刻蚀方法及刻蚀系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119927443B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510425784.0，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权一种氮化镓材料的刻蚀方法及刻蚀系统是由肖捷翔;易觉民;王萌艺;王鲁华;徐科设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化镓材料的刻蚀方法及刻蚀系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氮化镓材料的刻蚀方法及刻蚀系统。所述方法包括：将氮化镓基材的待加工面与辅助靶材表面相对设置；使激光透过氮化镓基材后照射到辅助靶材表面以激发出等离子体，并使等离子体与待加工面的选定区域接触，从而对选定区域进行等离子刻蚀，以及使激光对选定区域进行离焦烧蚀。本发明提供了一种简单、安全、效率高且能减少热损伤和裂纹的氮化镓材料的刻蚀方案。
本发明授权一种氮化镓材料的刻蚀方法及刻蚀系统在权利要求书中公布了：1.一种氮化镓材料的刻蚀方法，其特征在于，包括： 将氮化镓基材的待加工面与辅助靶材表面相对设置； 使激光透过氮化镓基材后照射到辅助靶材表面以激发出等离子体，并使所述等离子体与所述待加工面的选定区域接触，从而对所述选定区域进行等离子刻蚀，以及使激光对所述选定区域进行离焦烧蚀； 所述激光包括飞秒激光； 所述辅助靶材包括层叠设置的金属靶材和非金属靶材，在进行所述等离子刻蚀时，所述激光聚焦于所述金属靶材和非金属靶材的界面处，且所述非金属靶材和金属靶材沿远离所述待加工面的方向依次设置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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