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深圳智现未来工业软件有限公司白肖艳获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳智现未来工业软件有限公司申请的专利一种晶圆缺陷分类方法、装置及计算机设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119832351B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510315267.8,技术领域涉及:G06V10/764;该发明授权一种晶圆缺陷分类方法、装置及计算机设备是由白肖艳;蔡雨桐;杜云峰;夏敏;易丛文;管健设计研发完成,并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆缺陷分类方法、装置及计算机设备在说明书摘要公布了:本说明书提供一种晶圆缺陷分类方法、装置及计算机设备。其中,晶圆缺陷分类方法包括:获取同一晶圆制造厂商在晶圆制造过程中得到的晶圆缺陷图像组成的图像集。将该图像集输入权证生成模型,生成用于控制分类模型对图像不同位置关注程度的权重。最后将生成的权重应用于分类模型,并将图像集输入分类模型,得到各个图像的缺陷类型。并针对每个缺陷类型对应的图像子集,进行聚类,将聚类结果作为图像的晶圆缺陷分类结果。针对不同厂商的晶圆缺陷图像生成了自适应的权重,这使得同一分类模型可以应用于不同厂商。通过分类后再进行聚类的方法,可以根据不同厂商选取不同的细分粒度,使得方案可以应用于不同的厂商,提升分类准确度。

本发明授权一种晶圆缺陷分类方法、装置及计算机设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆缺陷分类方法,其特征在于,所述方法包括: 获取包括多张图像的图像集;所述图像集中的多张图像为预设时间段内同一晶圆制造厂商在晶圆制造过程中得到的晶圆缺陷图像; 将所述图像集输入权重生成模型,得到所述图像集对应的权重数据;所述权重数据指示分类模型对图像不同位置的关注程度; 将所述图像集输入配置了所述权重数据的分类模型,所述分类模型基于所述权重数据对提取的图像特征进行加权处理,并基于加权处理后的图像特征执行第一层级缺陷类型的分类,得到所述图像集中各图像的第一层级缺陷类型; 针对每个第一层级缺陷类型,根据目标类簇数目,将所述图像集中对应于该第一层级缺陷类型的图像进行聚类处理,将聚类结果作为所述图像集的第二层级缺陷分类结果; 所述目标类簇数目针对所述图像集对应的晶圆制造厂商和各个第一层级缺陷类型而预设;或者所述目标类簇数量为,针对每个第一层级缺陷类型,将所述图像集中对应于该第一层级缺陷类型的图像输入聚类数目生成模型得到的。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳智现未来工业软件有限公司,其通讯地址为:518055 广东省深圳市南山区西丽街道西丽社区留仙大道创智云城1标段1栋D座2701;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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