中芯集成电路(宁波)有限公司赵林泽获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯集成电路(宁波)有限公司申请的专利滤波器及其形成方法、以及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119401978B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411980077.X,技术领域涉及:H03H9/64;该发明授权滤波器及其形成方法、以及电子设备是由赵林泽;李幸;张勋龙设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本滤波器及其形成方法、以及电子设备在说明书摘要公布了:一种滤波器及其形成方法、以及电子设备,滤波器包括:保护层中具有互连窗口;焊盘,位于互连窗口中,焊盘的侧壁与互连窗口的侧壁相对准,且焊盘与连接部电连接;由于焊盘的侧壁与互连窗口的侧壁相对准,且互连窗口位于保护层中,即本实施例只采用一张光罩就可以形成焊盘和互连窗口,与采用两张光罩分别形成焊盘和互连窗口的方案相比,减少了光罩的数量,相应降低了生产成本,而且,这也提高了互连窗口和焊盘之间的对准精度;此外,由于保护层覆盖叉指换能器、连接部和基底,因此,保护层能够对叉指换能器、连接部和基底起到保护作用,从而有利于在工艺制成中降低叉指换能器、连接部或基底被损伤的概率,进而提高了滤波器的性能。
本发明授权滤波器及其形成方法、以及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种滤波器的形成方法,其特征在于,包括: 提供基底,所述基底上形成有叉指换能器以及位于所述叉指换能器侧部的连接部,所述连接部电连接所述叉指换能器,所述连接部包括第一电极、以及位于所述第一电极两侧的第二电极,所述第一电极和第二电极分别与至少一个所述叉指换能器电连接; 在所述基底上形成保护材料层,所述保护材料层覆盖所述叉指换能器、连接部和基底; 在所述保护材料层上形成具有掩膜开口的掩膜层,所述掩膜开口在所述连接部上的投影覆盖所述连接部的部分表面; 以所述掩膜层为掩膜去除所述掩膜开口底部的保护材料层,在所述保护材料层中形成互连窗口,剩余的所述保护材料层作为保护层; 在所述掩膜层的掩膜开口中形成焊盘,所述焊盘还位于所述互连窗口中,所述焊盘的侧壁与所述互连窗口的侧壁相对准,且所述焊盘与所述连接部电连接,所述焊盘形成在连接部的顶部。
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