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龙图腾网获悉浙江赛瑾半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆载具的尺寸测量设备及其计算方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119354054B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411936810.8，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种晶圆载具的尺寸测量设备及其计算方法是由石祥坤;邹良燕;刘出群;温小健设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆载具的尺寸测量设备及其计算方法在说明书摘要公布了：一种晶圆载具的尺寸测量设备及其计算方法，其用于对一个晶圆载具进行外观的尺寸检测计算与槽高尺寸检测计算。所述晶圆载具的尺寸测量设备包括一个机架，至少两个相对设置于所述机架上的二轴移动组件，一个设置于两个所述二轴移动组件之间的升降旋转组件，以及至少两个分别设置于两个所述二轴移动组件的输出端的检测组件。所述升降旋转组件包括一个固定设置于所述机架上的固定块，一个螺接于所述固定块上的Z轴丝杆，一个Z轴电机，一个支架台，一个旋转电机，以及一个载台。第二限位块相较于第一限位块能够限位住规格较大的晶圆载具，从而使得该测量设备能够检测两种规格不同的所述晶圆载具，进而提高了该测量设备的适用性。

本发明授权一种晶圆载具的尺寸测量设备及其计算方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具的尺寸测量设备，其用于对一个晶圆载具进行外观的尺寸检测计算与槽高尺寸检测计算，所述晶圆载具包括一个载体框架，该载体框架的一侧平行设置有两个尾板，所述晶圆载具的尺寸测量设备的特征在于：所述晶圆载具的尺寸测量设备包括一个机架，至少两个相对设置于所述机架上的二轴移动组件，一个设置于两个所述二轴移动组件之间的升降旋转组件，以及至少两个分别设置于两个所述二轴移动组件的输出端的检测组件，所述升降旋转组件包括一个固定设置于所述机架上的固定块，一个螺接于所述固定块上的Z轴丝杆，一个设置于所述Z轴丝杆的一端的Z轴电机，一个固定设置于所述Z轴电机上的支架台，一个设置于所述支架台上的旋转电机，以及一个设置于所述旋转电机的输出端的载台，所述载台上设置有两个第一限位块，所述第一限位块呈L型设置，且两个所述第一限位块的开口背向设置，两个所述第一限位块的一侧设置有两个第二限位块，该第二限位块的结构与所述第一限位块的结构相同，两个所述第二限位块的开口背向设置，且两个所述第二限位块之间的距离大于两个所述第一限位块之间的距离，两个相对设置的所述检测组件对所述晶圆载具同时进行一前一后的检测。

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