东腾创新(深圳)科技有限公司韩纪东获国家专利权
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龙图腾网获悉东腾创新(深圳)科技有限公司申请的专利一种半导体检测用CHUCK盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119694936B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411817996.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体检测用CHUCK盘是由韩纪东设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体检测用CHUCK盘在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，且公开了一种半导体检测用CHUCK盘，包括环形槽下表面吸附有芯片硅晶圆，盘体上安装有用于对芯片硅晶圆进行清洗的喷剂组件，转动件上连接有清理组件，转动件被电机和齿轮进行驱动时，清理组件在盘体上做圆周运动，用于对芯片硅晶圆进行清理。本发明通过清理组件的设置，连接块下表面安装的第二滚筒毛刷随着连接块的转动，对芯片硅晶圆上表面进行持续的清理，当芯片硅晶圆被吸附时，此时第二滚筒毛刷处于芯片硅晶圆的上表面，从而减少芯片硅晶圆表面的污渍，提高检测结果的准确性。
本发明授权一种半导体检测用CHUCK盘在权利要求书中公布了：1.一种半导体检测用CHUCK盘，包括盘体（1），其特征在于：所述盘体（1）上安装有电机（5），所述盘体（1）上安装有转动件，所述电机（5）的输出轴上安装有齿轮（11），用于对转动件进行驱动； 所述盘体（1）的内部设置有环形腔（101）和若干个通道（102），若干个所述通道（102）与环形腔（101）进行连通，通道（102）远离环形腔（101）的一端集中连通在盘体（1）的中部，所述盘体（1）的上表面中部连通有气管（3）并延伸至通道（102）的内部； 所述盘体（1）的下表面设置有若干个环形槽（103），所述环形槽（103）与通道（102）进行连通； 所述环形槽（103）下表面吸附有芯片硅晶圆，所述盘体（1）上安装有用于对芯片硅晶圆进行清洗的喷剂组件（6）； 所述转动件上连接有清理组件（7），转动件被电机（5）和齿轮（11）进行驱动时，清理组件（7）在盘体（1）上做圆周运动，用于对芯片硅晶圆进行清理。
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