捷捷微电(南通)科技有限公司刘勇杰获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种压力监控机构及尾气处理机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223120138U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422550313.6，技术领域涉及：F04B51/00；该实用新型一种压力监控机构及尾气处理机是由刘勇杰;李文斌;张文学设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压力监控机构及尾气处理机在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种压力监控机构及尾气处理机，属于半导体设备领域，压力监控机构通过每个废气管连通尾气处理机的腔体和一个主设备，并通过检测管连通至少两个废气管，使得安装于检测管上的压力传感器可以同时监控两条废气管路的压力，极大地改善了尾气处理机的压力传感器安装方式。从而，在两台及以上的主设备同时由一台尾气处理机进行废气处理时，通过压力监控机构同时有效地监控各主设备与尾气处理机间的飞起管路的压力，进而降低尾气处理机的管路堵塞风险，以避免尾气处理机真空泵卡死、主机台工艺停止、设备宕机以及晶圆报废。
本实用新型一种压力监控机构及尾气处理机在权利要求书中公布了：1.一种压力监控机构，其特征在于，包括检测管和至少两个废气管； 所述废气管用于连通尾气处理机的腔体和一个主设备的废气出口； 所述废气管还包括第一检测接口，所述检测管包括第二检测接口和至少两个管路接口； 所述检测管的每个所述管路接口与一个所述废气管的所述第一检测接口连通，所述检测管的所述第二检测接口用于安装压力传感器。
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