昂成精密仪器(深圳)有限公司张海飞获国家专利权
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龙图腾网获悉昂成精密仪器(深圳)有限公司申请的专利一种离子束刻蚀控制系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123386U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422495534.8，技术领域涉及：G05B19/05；该实用新型一种离子束刻蚀控制系统是由张海飞;李正磊;陈勇设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子束刻蚀控制系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及离子束刻蚀技术领域，具体涉及一种离子束刻蚀控制系统。该离子束刻蚀控制系统包括安全检测模块、PLC控制模块、安全输入模块、安全控制模块、安全输出模块、离子源电源以及中和器电源，其中，安全检测模块用于检测离子束刻蚀的安全运行信号，PLC控制模块连接外部电网以获取电能，且PLC控制模块根据安全运行信号控制离子源电源和中和器电源的供电，安全输入模块基于安全运行信号传输对应的状态信号至安全控制模块，安全控制模块基于状态信号控制安全输出模块的工作状态，以控制离子源电源以及中和器电源的供电。本申请在PLC控制模块失效的情况下，仍可控制停止离子源电源和中和器电源的供电，降低离子束刻蚀的作业安全隐患。
本实用新型一种离子束刻蚀控制系统在权利要求书中公布了：1.一种离子束刻蚀控制系统，其特征在于，包括安全检测模块、PLC控制模块、安全输入模块、安全控制模块、安全输出模块、离子源电源以及中和器电源，其中，所述安全检测模块用于检测离子束刻蚀的安全运行信号，所述PLC控制模块连接外部电网以获取电能，且所述PLC控制模块根据安全运行信号控制所述离子源电源和中和器电源的供电，所述安全输入模块基于安全运行信号传输对应的状态信号至所述安全控制模块，所述安全控制模块基于状态信号控制所述安全输出模块的工作状态，以控制所述离子源电源以及所述中和器电源的供电。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昂成精密仪器(深圳)有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区翠景路35号3栋昂纳集团3号厂房101、201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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