晶通(高邮)集成电路有限公司蒋东峰获国家专利权
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龙图腾网获悉晶通(高邮)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆搬运装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119446991B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411394028.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆搬运装置是由蒋东峰设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆搬运装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，具体公开一种晶圆搬运装置，包括搬运轨道，所述搬运轨道上设置有装置座，所述装置座下侧安装有圆座，所述圆座下方安装有气动吸盘，所述圆座周侧设置有若干夹块，所述夹块下侧转动连接有左右两夹条块，所述夹条块外端下侧橡胶触头。本发明晶圆搬运装置采用气动吸盘，增强了稳定性与灵活性，气动系统快速调节吸附力，橡胶触头设计避免晶圆损伤，三角架确保放置稳定，降低脱落风险，夹块弹簧提供夹持力并具备缓冲功能，夹条块外端的橡胶触头确保安全接触，外齿环与直齿轮实现同步运动，增强夹持精度，滑套座与连杆设计提升整体协调性，确保装置平稳移动，适应不同尺寸晶圆，提升保护功能。
本发明授权一种晶圆搬运装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运装置，包括搬运轨道1，其特征在于，所述搬运轨道1上设置有装置座2，所述装置座2下侧安装有圆座3，所述圆座3下方安装有气动吸盘4，所述圆座3周侧设置有若干夹块10，所述夹块10下侧转动连接有左右两夹条块11，所述夹条块11外端下侧橡胶触头20，所述夹块10后侧转动连接有齿辊9，若干所述齿辊9上侧设置有端面齿环7，所述端面齿环7转动连接于圆座3上； 所述圆座3上侧均匀设置有若干撑杆15，所述撑杆15转动连接于圆座3上侧，若干所述撑杆15上端设置有平衡环5，所述撑杆15上端转动连接有滑块22，且所述滑块22内外滑动于平衡环5下侧，所述平衡环5上侧设置有三角架6，所述三角架6位于搬运轨道1下侧； 若干所述夹块10上侧设置有转动连接于圆座3上的外齿环21，外齿环21外侧设置有与其啮合的直齿轮25，直齿轮25转动连接于圆座3上，且夹块10一侧设置有与直齿轮25啮合的齿槽。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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