徐州良萌半导体科技有限公司赵瑞昆获国家专利权
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龙图腾网获悉徐州良萌半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆托取机械手获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223115230U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422419897.3,技术领域涉及:B25J15/00;该实用新型一种晶圆托取机械手是由赵瑞昆;高小良设计研发完成,并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆托取机械手在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆托取技术领域,公开了一种晶圆托取机械手,包括固定块,所述固定块的顶部固接有第二伺服电机,且所述第二伺服电机的输出轴固接有双向螺纹杆,且所述固定块的一侧开设有滑槽,通过主动机械臂和从动机械臂的间距调节,从而利用两个第一夹取轮和两个第二夹取轮来对可托取的晶圆进行夹持,托取完成后,通过主动机械臂上的第一夹取轮和第二夹取轮的转动,方便对夹取的晶圆进行输送工作,从而方便晶圆平稳放置于架体或平台上,而当主动机械臂和从动机械臂无法托取时,则可利用托取片的水平移动来进行另一种托取晶圆的方式。
本实用新型一种晶圆托取机械手在权利要求书中公布了:1.一种晶圆托取机械手,包括固定块1,其特征在于:所述固定块1的顶部固接有第二伺服电机13,且所述第二伺服电机13的输出轴固接有双向螺纹杆14,且所述固定块1的一侧开设有滑槽,所述双向螺纹杆14在滑槽的内部两端均螺纹套接有螺纹套块15,且两个所述螺纹套块15的一侧分别固接有主动机械臂2和从动机械臂3,且所述从动机械臂3和主动机械臂2的相邻一侧均开设有凹槽,且两个所述凹槽的内部均转动连接有第一旋转轴6和第二旋转轴7,且两个所述第二旋转轴7的外表面均固定套接有第二夹取轮5,且两个所述第一旋转轴6的外表面均固定套接有第一夹取轮4,所述主动机械臂2的一侧固接有设备盒10,且主动机械臂2上所述第一旋转轴6和第二旋转轴7的一端均贯穿于设备盒10的内部,且所述设备盒10的一侧固接有第一伺服电机11,且主动机械臂2上所述第一旋转轴6的一端固接于设备盒10的输出轴,且主动机械臂2上所述第一旋转轴6和第二旋转轴7的外表面均固定套接有同步轮8,且两个所述同步轮8之间通过齿槽共同套接有一个同步带9,所述固定块1在远离主动机械臂2的一侧固接有U形连接块22,且所述U形连接块22上设置有伸缩机构,且所述伸缩机构上滑动卡接有连接片18,且所述连接片18的一侧固接有托取片16,且所述托取片16上固定插接有气管连接管17。
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