深圳傲威半导体有限公司吴昊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳傲威半导体有限公司申请的专利一种晶圆镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223118537U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422401324.8，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种晶圆镀膜设备是由吴昊;陆亚斌;王成设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及镀膜设备领域，尤其涉及一种晶圆镀膜设备。技术方案：方形板上设置有用于进行固定夹持的夹持组件；夹持组件包括固定滑轨；固定滑轨上滑动连接有移动滑块；移动滑块的上端部设置有竖向滑轨；竖向滑轨上滑动连接有竖向滑块；两个固定滑轨、两个移动滑块、两个竖向滑轨和两个竖向滑块设置为一个整体，一个整体里面有两组，内侧的竖向滑块上设置有旋转电机；外侧的竖向滑块上设置有旋转轴。本实用新型通过设置底部固定件，进行固定支撑，同时在其上端设置转动连接结构，便于进行主要支撑和转动连接工作，进行自主转动，方便使用，在转动结构上端设置自动化夹持组件，便于进行自动调整和移动夹持工作。
本实用新型一种晶圆镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆镀膜设备，包括有方形板7；其特征在于：还包括有夹持组件；方形板7上设置有用于进行固定夹持的夹持组件；夹持组件包括固定滑轨801；固定滑轨801上滑动连接有移动滑块802；移动滑块802的上端部设置有竖向滑轨803；竖向滑轨803上滑动连接有竖向滑块804；两个固定滑轨801、两个移动滑块802、两个竖向滑轨803和两个竖向滑块804设置为一个整体，一个整体里面有两组，内侧的竖向滑块804上设置有旋转电机805；外侧的竖向滑块804上设置有旋转轴806。
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