成都中科卓尔智能科技集团有限公司李越获国家专利权
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龙图腾网获悉成都中科卓尔智能科技集团有限公司申请的专利一种气流分配装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223118546U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422403977.X，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种气流分配装置及镀膜设备是由李越;张小林;万敏设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气流分配装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种气流分配装置及镀膜设备，包括镀膜腔室、气路管道和匀流板，所述镀膜腔室的侧壁连通气路管道，镀膜腔室内部设置匀流板，匀流板与气路管道的位置相对设置，镀膜腔室的内壁与匀流板之间构成流动气路，匀流板用于将进入镀膜腔室内的气体进行均匀分流。本实用新型通过匀流板在气体进入在镀膜腔室时会阻挡气体的直接流通，将气体向流动气路的间隙方向扩散，使得气体在匀流板的作用下均匀的通入镀膜腔室内部与基片进行镀膜反应，保证了基片镀膜层的均匀性，从而提升了镀膜质量。
本实用新型一种气流分配装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种气流分配装置，其特征在于：包括镀膜腔室（1）、气路管道（2）和匀流板（3），所述镀膜腔室（1）的侧壁连通气路管道（2），镀膜腔室（1）内部设置匀流板（3），匀流板（3）与气路管道（2）的位置相对设置，镀膜腔室（1）的内壁与匀流板（3）之间构成流动气路（4），流动气路（4）与气路管道（2）相连通，匀流板（3）用于将进入镀膜腔室（1）内的气体进行均匀分流。
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