成都中科卓尔智能科技集团有限公司万敏获国家专利权
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龙图腾网获悉成都中科卓尔智能科技集团有限公司申请的专利一种进气气路系统及镀膜机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223118547U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422404229.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种进气气路系统及镀膜机是由万敏;李越设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种进气气路系统及镀膜机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种进气气路系统及镀膜机，包括基底脉冲气路、还原剂气路和反应腔室，基底脉冲气路和还原剂气路分别连通反应腔室，反应腔室与真空抽气泵相连通，基底脉冲气路包括第一载气管路、反应源管路、反应源输出部和辅助管路，第一载气管路与反应源管路通过反应源输出部进行连接，辅助管路的两端分别连接第一载气管路和反应源管路。本实用新型通过辅助管道绕过反应源输出部与第一载气管路和反应源管路进行直接连接，在反应腔室真空泵作用下，通过设置辅助管路对第一载气管道进行清理的方式不需要单独对反应源输出部和载气管路进行拆卸就能直接进行管路清理，避免了反应源直接接触人和空气造成的安全隐患且提升了清理效率。
本实用新型一种进气气路系统及镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种进气气路系统，其特征在于：包括基底脉冲气路（1）、还原剂气路（2）和反应腔室（3），基底脉冲气路（1）和还原剂气路（2）分别连通反应腔室（3），反应腔室（3）与真空抽气泵相连通，基底脉冲气路（1）包括第一载气管路（11）、反应源管路（12）、反应源输出部（13）和辅助管路（14），第一载气管路（11）与反应源管路（12）通过反应源输出部（13）进行连接，辅助管路（14）的两端分别连接第一载气管路（11）和反应源管路（12）。
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