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龙图腾网获悉广东精瓷新材料有限公司申请的专利一种高介电高击穿强度的静电卡盘及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119208237B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411358691.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种高介电高击穿强度的静电卡盘及其制备方法是由陈闻杰;陈关亮;常鑫烽;李国明;兰建辉设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高介电高击穿强度的静电卡盘及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种高介电高击穿强度的静电卡盘及其制备方法。所述静电卡盘包括由上至下依次设置的陶瓷介质层、粘结层和金属基座，所述陶瓷介质层包括至少一个陶瓷介电层，所述陶瓷介电层的原料包括氧化铝和氮化铝中的至少一种，并包括钛酸钡、锆钛酸钡、铌镁酸铅和钛酸锶钡中的至少一种。所述静电卡盘利用静电吸附技术，‌通过高介电常数的陶瓷介电层材料实现高效的静电吸附，高介电常数材料能够有效地存储电荷，‌从而增强静电吸附力，‌使得晶圆等工件在加工过程中保持更好的稳定性和精度，且陶瓷介电层材料具有高击穿强度，有利于保证静电卡盘在高压环境下工作的安全性。所述制备方法控制方便，生产效率高，有利于规模化生产。

本发明授权一种高介电高击穿强度的静电卡盘及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高介电高击穿强度的静电卡盘，其特征在于：包括由上至下依次设置的陶瓷介质层、粘结层和金属基座，所述陶瓷介质层包括至少一个陶瓷介电层，所述陶瓷介电层的原料包括氧化铝和氮化铝中的至少一种，并包括钛酸钡、锆钛酸钡、铌镁酸铅和钛酸锶钡中的至少一种； 所述陶瓷介电层包括如下重量份的原料：氧化铝50-90份、钛酸钡5-25份、锆钛酸钡5-25份、铌镁酸铅5-20份、钛酸锶钡2-20份； 所述陶瓷介电层包括如下重量份的原料：氮化铝50-90份、钛酸钡5-25份、锆钛酸钡5-25份、铌镁酸铅5-20份、钛酸锶钡2-20份； 所述陶瓷介质层包括由上至下依次设置的第一陶瓷介电层、吸附电极层、第二陶瓷介电层、加热层和第三陶瓷介电层，所述第三陶瓷介电层设置于金属基座的上端面；所述静电卡盘还设置有多个氦气孔，所述氦气孔由下至上贯穿陶瓷介质层的下表面和上表面，所述第一陶瓷介电层的上表面设置有多个向上凸伸的凸起部； 所述金属基座设有冷却液通道以及与多个氦气孔连通的氦气通道，所述氦气通道呈环形；所述吸附电极层和加热层分别设置有吸附电极引出端和加热电极引出端，所述吸附电极引出端和加热电极引出端均向下延伸至金属基座的下端；所述金属基座设置有用于供吸附电极引出端穿过的吸附电极通道以及用于供加热电极引出端穿过的加热电极通道。

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