成都超迈光电科技有限公司张松林获国家专利权
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龙图腾网获悉成都超迈光电科技有限公司申请的专利一种干法刻蚀机排气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223112760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422359744.4，技术领域涉及：B01D53/78；该实用新型一种干法刻蚀机排气装置是由张松林;王超;周君君设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种干法刻蚀机排气装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及排气装置技术领域，具体涉及一种干法刻蚀机排气装置。一种干法刻蚀机排气装置，包括箱体，在所述箱体的底部固定连接有支撑腿，在箱体的顶部连通安装有排气管和进液管，在箱体侧面的底部连通有进气管，在所述进气管的中部设置有过滤机构，在箱体的内部固定安装有分气腔室，所述分气腔室与进气管连通，在分气腔室的一侧连通安装有多个送气管，在所述送气管的顶面上连通有多个喷头。本实用新型通过设置的进液管和进气管可以将反应液和干法刻蚀机产生的废气注入箱体内，在废气经过彻底反应后能够进行无害化的排放，设置在进气管上的过滤机构则用于拦截废气中的颗粒、尘埃，确保进入箱体内部的只有气体。
本实用新型一种干法刻蚀机排气装置在权利要求书中公布了：1.一种干法刻蚀机排气装置，其特征在于：包括箱体（1），在所述箱体（1）的底部固定连接有支撑腿（2），在箱体（1）的顶部连通安装有排气管（3）和进液管（4），在箱体（1）侧面的底部连通有进气管（5），在所述进气管（5）的中部设置有过滤机构（6），在箱体（1）的内部固定安装有分气腔室（7），所述分气腔室（7）与进气管（5）连通，在分气腔室（7）的一侧连通安装有多个送气管（8），在所述送气管（8）的顶面上连通有多个喷头（9）。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都超迈光电科技有限公司，其通讯地址为：610000 四川省成都市成都经济技术开发区(龙泉驿区)南一路1024号4栋5层503号附519-521号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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