泰州中来光电科技有限公司周龙杰获国家专利权
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龙图腾网获悉泰州中来光电科技有限公司申请的专利一种吸附式石墨舟获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223118536U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422363211.3,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种吸附式石墨舟是由周龙杰;拜进权;徐立;乔振聪;林建伟设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种吸附式石墨舟在说明书摘要公布了:一种吸附式石墨舟,包括多个连接在一起的石墨舟片,所述石墨舟片上设有吸附槽、卡点结构和气流通道,吸附槽与气流通道连通;所述卡点结构包括壳体、可活动的限位块以及与限位块连接的弹性件,壳体内设有负压腔,负压腔与气流通道连通,限位块的一端设于负压腔内;弹性件驱动限位块将硅片限位在石墨舟片上;负压腔驱动限位块将硅片释放。与现有技术相比,本实用新型的吸附式石墨舟既能将硅片限位、固定在石墨舟上,也不会遮挡、接触硅片,避免影响硅片镀膜效果。
本实用新型一种吸附式石墨舟在权利要求书中公布了:1.一种吸附式石墨舟,其特征在于:包括多个连接在一起的石墨舟片,所述石墨舟片上设有吸附槽、卡点结构和气流通道,吸附槽与气流通道连通; 所述卡点结构包括壳体、可活动的限位块以及与限位块连接的弹性件,壳体内设有负压腔,负压腔与气流通道连通,限位块的一端设于负压腔内; 弹性件驱动限位块将硅片限位在石墨舟片上; 负压腔驱动限位块将硅片释放。
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