江苏微导纳米科技股份有限公司蒋承志获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利载具和沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223118550U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422363421.2,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型载具和沉积设备是由蒋承志;廖宝臣;施述鹏设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本载具和沉积设备在说明书摘要公布了:本申请公开了载具和沉积设备。载具包括载具主体、加热板和载片舟。载具主体具有安装腔。加热板安装于载具主体。载片舟可拆卸放置于安装腔内。载片舟具有用于容置基片的容置腔,载片舟用于将基片的至少一面遮掩。其中,加热板与载片舟的其中一面相对且间隔设置,加热板与载片舟之间形成有气流通道;载具主体具有进气口和出气口,气流通道连通进气口和出气口。通过上述方式,本申请能够方便地对需要镀膜的表面进行加热镀膜。
本实用新型载具和沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种载具,其特征在于,包括: 载具主体,具有安装腔; 加热板,所述加热板安装于所述载具主体; 载片舟,可拆卸放置于所述安装腔内,所述载片舟具有用于容置基片的容置腔,所述载片舟用于将所述基片的至少一面遮掩; 其中,所述加热板与所述载片舟相对且间隔设置,所述加热板与所述载片舟之间形成有气流通道;所述载具主体具有进气口和出气口,所述气流通道连通所述进气口和所述出气口。
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