江苏微导纳米科技股份有限公司陈强利获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223118552U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422367729.4，技术领域涉及：C23C16/48；该实用新型沉积设备是由陈强利;廖宝臣;王亨;杨柳;施述鹏设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积设备在说明书摘要公布了：本申请公开了沉积设备。沉积设备包括设备主体、载片舟和红外加热器。设备主体具有工艺腔体。载片舟设置于工艺腔体内，载片舟具有用于容置基片的容置腔，载片舟将基片的至少一面遮掩。红外加热器与载片舟的其中一面相对且间隔设置，红外加热器与载片舟之间具有供工艺气体流过的工艺通道，红外加热器用于加热未被遮掩的基片侧面。通过上述方式，本申请能够实现对基片需要镀膜的侧面针对性加热。
本实用新型沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种沉积设备，其特征在于，包括： 设备主体，所述设备主体具有工艺腔体； 载片舟，设置于所述工艺腔体内，所述载片舟具有用于容置基片的容置腔，所述载片舟将基片的至少一面遮掩； 红外加热器，与所述载片舟未遮掩基片的至少其中一侧相对且间隔设置，所述红外加热器与所述载片舟之间具有供工艺气体流过的工艺通道，所述红外加热器用于加热未被遮掩的基片侧面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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