辰轩半导体设备(江苏)有限公司胡小辉获国家专利权
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龙图腾网获悉辰轩半导体设备(江苏)有限公司申请的专利一种晶片刷洗机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223123875U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422353775.9,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶片刷洗机是由胡小辉设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片刷洗机在说明书摘要公布了:本实用新型公开的一种晶片刷洗机,包括刷洗平台以及设置在刷洗平台上的移载组件;刷洗平台顶部且位于移载组件外侧依次设置有第一清洗机构、第二清洗机构、刷洗机构与甩干机构;第一清洗机构一侧设置有第一加药机构,第二清洗机构一侧设置有第二加药机构;移载组件抓取晶片依次进行清洗、刷洗与甩干;通过设置可旋转的移载组件,实现外侧多个移栽臂同步旋转,能够同时抓取多个晶片,分别将不同工序上的晶片移载至下一工序,提高晶片清洗效率,此外,通过设置第一清洗机构与第二清洗机构对晶片进行两道工序清洗,两道工序清洗过程中加入的药液不同,提高晶片清洗的清洁度。
本实用新型一种晶片刷洗机在权利要求书中公布了:1.一种晶片刷洗机,包括:刷洗平台以及设置在刷洗平台上的移载组件;其特征在于, 所述刷洗平台顶部且位于所述移载组件外侧依次设置有第一清洗机构、第二清洗机构、刷洗机构与甩干机构; 所述第一清洗机构一侧设置有第一加药机构,所述第二清洗机构一侧设置有第二加药机构; 所述移载组件抓取晶片依次进行清洗、刷洗与甩干。
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