常州承芯半导体有限公司汤钦宇获国家专利权
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龙图腾网获悉常州承芯半导体有限公司申请的专利金属有机源供给装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223118542U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422348878.6，技术领域涉及：C23C16/18；该实用新型金属有机源供给装置是由汤钦宇;徐鸿飞;吴旗召设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属有机源供给装置在说明书摘要公布了：一种金属有机源供给装置，包括：钢瓶，所述钢瓶用于储存金属有机源；震动装置，所述钢瓶与所述震动装置沿竖直方向设置，所述震动装置带动所述钢瓶震动，所述震动装置包括：震动马达；与所述震动马达连接的弹性件，所述震动马达带动所述弹性件进行弹性运动，与所述弹性件连接的托盘，所述托盘用于承载所述钢瓶。所述装置使所述钢瓶内的金属有机源分布均匀，以避免钢瓶内的金属有机源出现“虫洞”，从而提升了金属有机源的使用效率。
本实用新型金属有机源供给装置在权利要求书中公布了：1.一种金属有机源供给装置，其特征在于，包括： 钢瓶，所述钢瓶用于储存金属有机源； 震动装置，所述钢瓶与所述震动装置沿竖直方向设置，所述震动装置带动所述钢瓶震动，所述震动装置包括：震动马达；与所述震动马达连接的弹性件，所述震动马达带动所述弹性件进行弹性运动；与所述弹性件连接的托盘，所述托盘用于承载所述钢瓶。
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