拓荆科技(上海)有限公司李连杰获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种加热盘机构及其加热腔机构、薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123876U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422358191.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种加热盘机构及其加热腔机构、薄膜沉积设备是由李连杰;朱涛;陈聪;张艳娟;牛新平;张佳琦;李洪昊设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热盘机构及其加热腔机构、薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种加热盘机构及其加热腔机构、薄膜沉积设备，加热盘机构包括：加热盘以及嵌设于加热盘内的光强度检测组件，光强度检测组件用于正面接收检测光源的光信号。光强度检测组件包括：导光头，连接于导光头的抗紫外线光纤，以及连接于抗紫外线光纤的紫外光探头，其中，导光头嵌设于加热盘的顶部盘面，抗紫外线光纤和紫外光探头埋设于加热盘内部。其通过将光强度检测组件嵌设于加热盘上，正面接收紫外光，从而能够准确、方便的获取紫外光的光强度。由其组成的加热腔机构及薄膜沉积设备，能够通过嵌设的光强度检测组件，及时、快速获得紫外光的光强度，并根据光强度进行实时调整，以便加热腔内半导体固化效果和质量更高、更稳定。
本实用新型一种加热盘机构及其加热腔机构、薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种加热盘机构，其特征在于，包括：加热盘以及嵌设于所述加热盘内的光强度检测组件，所述光强度检测组件用于正面接收检测光源的光信号。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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