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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利研磨头保持环的磨损检测装置及化学机械研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223114905U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422331111.2，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型研磨头保持环的磨损检测装置及化学机械研磨设备是由姚一现;韩琦设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本研磨头保持环的磨损检测装置及化学机械研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种研磨头保持环的磨损检测装置及化学机械研磨设备，包括：流液孔、流液槽、光束发射器、光束接收器以及控制器。至少一个凸起上设置流液孔，流液孔与研磨头的供液管路连接以通过供液管路向流液孔输送检测液。流液槽设于凸起的底面且与流液孔连通。光束发射器和光束接收器分别设于化学机械研磨设备内，光束发射器用于发射相互平行的若干束检测光束，光束接收器用于接收若干束检测光束。控制器分别与光束发射器、光束接收器、研磨头控制连接。本实用新型中磨损检测装置设置在化学机械研磨设备内，在生产过程中可以对保持环进行检测，从而可以及时地检测出磨损的保持环，以及时地更换掉磨损的保持环，避免影响后续晶圆的生产质量。

本实用新型研磨头保持环的磨损检测装置及化学机械研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨头保持环的磨损检测装置，其特征在于，所述保持环的底部形成有间隔设置的若干个凸起以及位于相邻两个所述凸起之间的间隙，所述磨损检测装置包括：流液孔、流液槽、光束发射器、光束接收器以及控制器； 至少一个所述凸起上设置所述流液孔，所述流液孔的一端延伸至所述凸起的顶面且另一端延伸至所述凸起的底面，所述流液孔的一端与研磨头的供液管路连接以通过所述供液管路向所述流液孔内输送检测液； 所述流液槽设于所述凸起的底面且与所述流液孔连通，所述流液槽的一端延伸至所述凸起的内弧侧且另一端延伸至所述凸起的外弧侧； 所述光束发射器和所述光束接收器分别设于化学机械研磨设备内，所述光束发射器用于发射相互平行的若干束检测光束，所述光束接收器用于接收若干束所述检测光束； 所述控制器分别与所述光束发射器、所述光束接收器、所述研磨头控制连接，通过所述控制器控制调整所述研磨头的位置和方向，使所述流液孔位于所述检测光束的上方，当所述凸起的底面未发生磨损时，所述检测液从所述流液孔流出后会竖直滴落，当所述凸起的底面因磨损而呈倾斜状时，所述检测液从所述流液孔流出后会顺着所述流液槽向所述凸起的内弧侧或外弧侧方向流动，使所述检测液的滴落位置偏离所述流液孔，所述控制器根据被遮挡的检测光束与所述流液孔的位置关系，判断所述凸起是否发生磨损。

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