买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉宁波其异半导体设备有限公司申请的专利一种水平气流多片式化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223118587U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422319958.9，技术领域涉及：C30B25/14；该实用新型一种水平气流多片式化学气相沉积设备是由刘鹏;徐文立;余圣杰;高炀;沈磊设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种水平气流多片式化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种水平气流多片式化学气相沉积设备，涉及半导体材料生产设备技术领域，包括反应腔、进气系统、排气系统和搬运系统；反应腔内设置有隔离筒，隔离筒内设置有基座，基座上设置有托盘，托盘用于承载晶圆，基座底部通过旋转轴与旋转电机相连接。本实用新型水平气流多片式化学气相沉积设备，气源通过进气接口分别与反应腔内的反应气流道和保护气流道相连通，通过保护气体流道，将热场发热体与晶圆完全隔离，避免直接接触形成沉积附着；基座内圆周均布多个晶圆，基座整体围绕中心轴进行旋转能满足基本的外延均匀性需求。增加晶圆的自转，行星式旋转有助于径向反应气在衬底表面的扩散，提高外延层膜厚均匀性和反应气体利用率。

本实用新型一种水平气流多片式化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种水平气流多片式化学气相沉积设备，其特征在于，包括反应腔、进气系统、排气系统和搬运系统；所述反应腔一侧设置有进气接口并连接所述进气系统，所述反应腔另一侧设置有排气接口并连接所述排气系统；所述进气系统的调节流量和控制进气管路开闭，通过所述进气接口将反应气体通入所述反应腔内，反应气体水平流过晶圆待沉积表面进入所述排气系统；所述排气系统包括通过排气管路依次连通的真空泵、真空阀门和控压阀；所述搬运系统包括机器人室和晶圆装载室，所述机器人室内设置有真空机器人，所述机器人室的两端分别设置有闸阀，分别用于连接所述晶圆装载室和所述反应腔；所述反应腔内设置有热场，所述热场包括隔离筒、热场发热体和保温层，所述隔离筒外侧设置所述热场发热体，所述热场发热体外侧设置有所述保温层；所述隔离筒内设置有基座，所述基座上设置有托盘，所述托盘用于承载所述晶圆，所述基座底部通过旋转轴与旋转电机相连接；所述反应腔内靠近所述排气系统的一侧设置有排气组件，所述排气组件用于反应气体流向所述排气系统的导向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宁波其异半导体设备有限公司，其通讯地址为：315300 浙江省宁波市慈溪高新技术产业开发区开源路99号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。