郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种用于晶圆巡边器精度检测的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223122160U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422313708.4，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型一种用于晶圆巡边器精度检测的装置是由吴泓明;钟佑生;陈志刚;林明政;崔利明设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆巡边器精度检测的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆巡边器精度检测的装置，包括第一检测传感器、第二检测传感器、测试专用晶圆以及控制模块；第一检测传感器，在定心精度检测中对准定心晶圆的边缘设置；测试专用晶圆上开设有测试通孔；第二检测传感器，在寻边精度检测中对准测试专用晶圆的测试通孔设置；控制模块用于接收第一检测传感器传输的边缘位置信息以及第二检测传感器传输的测试通孔的位置信息，并通过与历史记录数据进行对比，判断定心和寻边精度。本申请提供的检测装置，在不改变巡边器与机台现状的条件下可实现巡边器定心精度的实时监控，采用测试专用晶圆可以实现巡边器寻边精度的定期监控，能够及时发现巡边器精度是否发生下降以及下降程度。
本实用新型一种用于晶圆巡边器精度检测的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆巡边器精度检测的装置，其特征在于，包括第一检测传感器、第二检测传感器、测试专用晶圆以及控制模块； 所述第一检测传感器，在定心精度检测中对准定心晶圆的边缘设置，用于检测所述定心晶圆定心过程中的边缘位置信息； 所述测试专用晶圆上开设有测试通孔； 所述第二检测传感器，在寻边精度检测中对准所述测试专用晶圆的所述测试通孔设置，用于检测所述测试专用晶圆寻边后的所述测试通孔的位置信息； 所述控制模块与所述第一检测传感器和所述第二检测传感器电连接，用于接收所述第一检测传感器传输的所述边缘位置信息以及所述第二检测传感器传输的所述测试通孔的位置信息，并通过与历史记录数据进行对比，判断定心和寻边精度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人郑州合晶硅材料有限公司，其通讯地址为：451162 河南省郑州市郑州航空港经济综合实验区规划工业四路以南、华夏大道以西；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号