应用材料公司尼尔·玛利获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有减少占地面积的半导体处理工具平台配置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981942B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180007747.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权具有减少占地面积的半导体处理工具平台配置是由尼尔·玛利;舒伯特·S·楚;苏斯汉特·S·科希特;迈克尔·C·库查尔;尼欧·谬;李松宰设计研发完成，并于2021-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有减少占地面积的半导体处理工具平台配置在说明书摘要公布了：基板处理系统包括具有受控环境的工厂接口和传送腔室。传送腔室包括四个第一小平面和三个第二小平面，其中三个第二小平面的每一个具有比四个第一小平面的每一个的宽度窄的宽度。第一处理腔室附接到四个第一小平面的一个。第一辅助腔室附接到三个第二小平面的第一个，其中第一辅助腔室小于第一处理腔室。负载锁定附接到三个第二小平面的第二个和工厂接口。机器人附接到传送腔室的底部，机器人适以将基板传送进出第一处理腔室、第一辅助腔室及负载锁定。
本发明授权具有减少占地面积的半导体处理工具平台配置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，包含： 工厂接口，具有受控环境； 传送腔室，包含： 四个第一小平面；和 三个第二小平面，其中所述三个第二小平面的每一个具有比所述四个第一小平面的每一个的宽度窄的宽度； 第一处理腔室，附接到所述四个第一小平面的一个； 第一辅助腔室，附接到所述三个第二小平面的第一个，其中所述第一辅助腔室小于所述第一处理腔室； 负载锁定，附接到所述三个第二小平面的第二个和所述工厂接口；和 机器人，附接到所述传送腔室的底部，所述机器人适以将多个基板传送进出所述第一处理腔室、所述第一辅助腔室及所述负载锁定， 其中在机器人的中心与所述第一辅助腔室的中心之间的距离在35英寸的20％以内。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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