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安徽省一翔贸易有限公司赵丽获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽省一翔贸易有限公司申请的专利压电形状确定的整体式薄膜压力传感器及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114094007B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111439969.5,技术领域涉及:H10N30/30;该发明授权压电形状确定的整体式薄膜压力传感器及制备方法是由赵丽设计研发完成,并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

压电形状确定的整体式薄膜压力传感器及制备方法在说明书摘要公布了:本发明的一种压电形状确定的整体式薄膜压力传感器及制备方法,包括封装层、电极层和功能层;功能层为薄膜结构,包括压电区和绝缘区,其中压电区的压电形状确定;电极层包括上电极、下电极,上电极和下电极分别对应设置在压电区的上、下一侧,将压电区的电信号引出;上、下电极在垂直于厚度方向上不重叠;封装层包裹在电极层的外侧;所述压电区的形状包括规则图形和不规则图形,其中规则图形包括圆形、长方形、三角形、椭圆形、多边形及十字形;不规则图包括蝌蚪形、剪纸型、折线型、S型、回字形及凹字形,环形。本发明由于压电形状确定,输出电信号随压力的变化稳定,则信号强且不受曲面曲率影响,制备工艺简单,在曲面测量中应用前景较好。

本发明授权压电形状确定的整体式薄膜压力传感器及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种整体式薄膜压力传感器制备方法,其特征在于,包括以下步骤, S10、在压电薄膜的两侧制备两面金属电极; S20、基于制备好的两面金属电极,进行目标区域极化,极化出具有确定压电形状的压电薄膜;具体包括: S21、将制备过电极的薄膜放置在极化仪上, S22、极化压头为圆形,对齐薄膜上的电极位置; S23、先加正向高压2KV、时间30s;再加负向高压2kv、时间30s;再加正向高压6KV、时间1200s; S24、极化后测量电极边缘处的压电性能,确定电极边缘处被极化的直径或范围; S30、刻蚀上述金属电极,仅保留带有设定极化形状的薄膜;具体包括: S31、按照边缘处被极化的范围直径制备金属圆环,将上下圆环放置在薄膜两侧,加负向极化电压,用于平衡掉边缘处被极化部分; S32、如果边缘处极化性能不满足要求,多次重复上述步骤S31操作,调整负向极化电压和时间,最终达到极化电极边缘处压电性能满足设定要求; S40、采用磁控溅射方法制备压电薄膜的引出电极,用于电信号的输出;或者采用热蒸镀方式制备; S50、引出电极两侧,用绝缘材料对该薄膜压力传感器进行封装。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽省一翔贸易有限公司,其通讯地址为:230000 安徽省合肥市蜀山区江南茗茶城市场内西区E-25号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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