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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种MicroLED巨量转移的自调平装置及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114023669B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111220046.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种MicroLED巨量转移的自调平装置及其应用是由黄永安;孙宁宁;白坤设计研发完成，并于2021-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MicroLED巨量转移的自调平装置及其应用在说明书摘要公布了：本发明属于半导体相关技术领域，其公开了一种MicroLED巨量转移的自调平装置及其应用，该装置包括：下晶圆运动台，包括具有XYZ三方向自由度的第一支架以及滑台；上晶圆运动台，包括具有XYZ三方向自由度的第二支架以及吸附结构；基板直驱自调平微云台，包括球形电机以及自调平微云台，球形电机设于滑台上，自调平微云台在球形电机的带动下实现X、Y或Z方向的旋转或锁紧；自调平微云台包括同步调节盘以及下晶圆吸附盘，同步调节盘表面设有多个顶柱，顶柱的上方分别设有力传感器，下晶圆吸附盘设有与顶柱对应的孔洞以使力传感器突出于下晶圆吸附盘表面。本申请不受转移头面积的限制，可以实现大平面转移过程中的平行度，显著提高转移效率。

本发明授权一种MicroLED巨量转移的自调平装置及其应用在权利要求书中公布了：1.一种MicroLED巨量转移的自调平装置，其特征在于，所述装置包括： 下晶圆运动台，包括具有XYZ三方向自由度的第一支架以及设于所述第一支架上的滑台，以使所述滑台在所述第一支架沿X、Y或Z方向运动； 上晶圆运动台，包括具有XYZ三方向自由度的第二支架以及设于所述第二支架上的吸附结构，所述吸附结构位于所述滑台的上方；所述吸附结构包括上晶圆吸附盘，所述上晶圆吸附盘用于吸附上晶圆； 基板直驱自调平微云台包括球形电机以及自调平微云台，所述球形电机设于所述滑台上，自调平微云台在所述球形电机的带动下实现X、Y或Z方向的旋转或锁紧；自调平微云台包括同步调节盘以及设于所述同步调节盘上方的下晶圆吸附盘，所述同步调节盘表面设有多个顶柱，所述顶柱的上方分别设有力传感器，所述下晶圆吸附盘设有与所述顶柱对应的孔洞以使所述力传感器突出于所述下晶圆吸附盘表面； 所述球形电机包括球形定子、球关节、球形外壳、多个永磁体、绕在永磁体表面的电线绕组及内置传感器，其中，所述球关节设于所述球形定子外部，所述球关节包括球部、设于球部表面的顶盖转轴以及设于所述顶盖转轴上方的顶盖，所述自调平微云台设于所述顶盖上；所述多个永磁体均布于并贯通所述球形外壳；所述内置传感器，用于反馈与控制球形电机的性能。

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