株式会社日立高新技术糟谷圭吾获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利电子源、电子枪以及带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115668429B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080101288.5，技术领域涉及：H01J37/063；该发明授权电子源、电子枪以及带电粒子束装置是由糟谷圭吾;石川修平;谷本宪史;土肥隆;松永宗一郎;森田裕;米须大吾;宫田健治设计研发完成，并于2020-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子源、电子枪以及带电粒子束装置在说明书摘要公布了：一种电子源，具备在沿着中心轴的方向上的一侧端部具有开口部的抑制电极以及前端从开口部突出的电子发射材料，其中，抑制电极在比开口部靠外周方向的位置还具备后退部，该后退部在沿着中心轴的方向上后退至比开口部远离电子发射材料的前端的位置，后退部的至少一部分具备配置为距开口部的中心为直径2810μm以内等的构造。由此，实现降低了因电子发射材料与抑制电极的轴偏离引起的装置性能的机械差异的电子源、电子枪、以及使用了该电子枪的电子显微镜等带电粒子束装置。
本发明授权电子源、电子枪以及带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种电子源，其特征在于，具有： 抑制电极，其在沿着中心轴的方向上的一侧端部具有开口部；以及 电子发射材料，其前端从上述开口部突出， 上述抑制电极在比上述开口部靠外周方向的位置还具备后退部，该后退部在沿着上述中心轴的方向上后退至比上述抑制电极的上述端部远离上述电子发射材料的上述前端的位置， 上述后退部的至少一部分配置为距上述开口部的中心为直径2810μm以内，上述后退部具备锥部，该锥部与垂直于上述中心轴的面所成的角度具有至少两个以上的不同的角度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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