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龙图腾网获悉泉州师范学院申请的专利使用玻璃光楔分像的晶粒相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111595861B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010566382.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权使用玻璃光楔分像的晶粒相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法是由颜少彬;黄启禄;廖廷俤设计研发完成，并于2020-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本使用玻璃光楔分像的晶粒相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种基于相邻面完全等光程共焦成像装置的基本结构原理，在相邻双面成像光路中分别采用玻璃光楔来实现半导体晶粒双面成像空间分离的检测新装置与方法，该新装置可以获得半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测，且无需使用偏振光学元件与偏振CMOS传感器（相机），有效降低了检测装置的成本。

本发明授权使用玻璃光楔分像的晶粒相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种使用玻璃光楔分像的晶粒相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置，其特征在于：包括在光路方向上依次设置的CMOS或CCD相机、远心成像镜头、立方分束合像器、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明玻璃载物台，在半导体晶粒与立方分束合像器之间的光路上分别依次设有天面直角转像棱镜、第一玻璃光楔和侧面直角转像棱镜、第二玻璃光楔，侧面直角转像棱镜和天面直角转像棱镜分别位于半导体晶粒的正侧部和天面正上方，立方分束合像器与第一玻璃光楔、天面直角转像棱镜在同一水平高度；侧面直角转像棱镜与第二玻璃光楔、立方分束合像器位于远心成像镜头的光轴上，同时侧面直角转像棱镜的第一直角面与立方分束合像器的第一面相对，侧面直角转像棱镜的第二直角面与半导体晶粒侧面相对，侧面直角转像棱镜的斜面与远心成像镜头光轴倾斜设置；天面直角转像棱镜的两个直角面分别与半导体晶粒的天面和立方分束合像器的第二面相对；第一玻璃光楔靠近立方分束合像器的表面与远心成像镜头光轴形成一玻璃光楔角，第二玻璃光楔靠近立方分束合像器的表面与远心成像镜头光轴的法向形成一玻璃光楔角，立方分束合像器第二面相背的第四面旁侧设有同轴外置照明光源，半导体晶粒的天面与侧面分别经直角转像棱镜、玻璃光楔、立方分束合像器以完全等光程共焦成像在相机传感器面上，以在CMOS或CCD相机上获取半导体晶粒双面各自独立的像；所述立方分束合像器中心与侧面直角转像棱镜斜面中心距离D2+d，立方分束合像器与天面直角转像棱镜斜面在同一水平高度上，二者距离D2+d，侧面成像光路工作距WD=D2+d2，天面成像光路工作距WD=WD=D2+d2，D为透明玻璃载物台宽度，d为棱镜直角边长；半导体晶粒天面成像光路工作距WD=D2+d2=30mm，侧面成像光路工作距WD=D2+d2=30mm；玻璃光楔使双面成像光束分别向立方分束合像器的中心光轴两侧产生了角位移γ1和γ2，且γ1与γ2的大小取决于玻璃光楔的厚度t，玻璃折射率n，以及玻璃光楔角α1与α2，立方分束合像器输出半导体晶粒相邻面的像在空间上分开的角位移为γ=γ1+γ2；所述第一、第二玻璃光楔的厚度t=2mm，玻璃光楔角α=2°，玻璃光楔的材料为K9，计算得到玻璃光楔产生的角位移γ1=γ2=（n-1）xα=1.03°，γ=2.06°；所述天面直角转像棱镜的尺寸为15*15*15mm，侧面直角转像棱镜的尺寸15*15*15mm，立方分束合像器的尺寸为15*15*15mm；立方分束合像器中心，直角转像棱镜的反射面中心，半导体晶粒中心相连形成一个边长为D2+d=37.5mm的方形对称光路结构；两个玻璃光楔产生的双像分离δ=γxL=1.8mm，焦距f=51.5mm，WD=110mm，L=50mm，L为玻璃光楔到立方分束合像器参考输出面之间的距离；立方分束合像器、直角转像棱镜的角度公差≤30弧秒，产生的双像角位移误差应该控制在2弧分以内；所述立方分束合像器或直角转像棱镜的角度误差及装配误差而导致双面成像空间光路的角度偏差，在子午面y-z面内，通过绕x轴旋转玻璃微光楔微调θ1与θ2来校正补偿子午面的误差，由于立方分束合像器或直角转像棱镜的角度制造误差及装配误差而导致双面成像的相对空间位置或角位移的偏差；同理，还可在弧矢面x-z面内通过来将厚度为t的玻璃光楔绕y轴旋转一个微小角度产生线位移来校正补偿由于立方分束合像器或直角转像棱镜的角度制造误差及装配误差而导致双面成像的相对空间位置或角位移的偏差。

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