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沃孚半导体公司西蒙·布贝尔获国家专利权

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龙图腾网获悉沃孚半导体公司申请的专利用于处理具有松弛正弯的碳化硅晶片的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117021381B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311010709.5,技术领域涉及:B28D5/00;该发明授权用于处理具有松弛正弯的碳化硅晶片的方法是由西蒙·布贝尔;马修·多诺弗里奥;约翰·埃德蒙;伊恩·柯里尔设计研发完成,并于2020-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

用于处理具有松弛正弯的碳化硅晶片的方法在说明书摘要公布了:本发明提供了用于处理具有松弛正弯的碳化硅晶片的方法。公开了碳化硅SiC晶片8A和相关方法,其包括配置以减少与由于重力或先前存在的结晶应力所造成的这些晶片8A的变形、弯曲或下垂有关的生产问题的故意或强加的晶片8A形状。故意或强加的晶片8A形状可以包括具有相对于其硅面的松弛正弯的SiC晶片8A。以这种方式,可以降低与SiC晶片8A,并且具体地大面积SiC晶片8A的变形、弯曲或下垂有关的影响。公开了用于提供具有松弛正弯的SiC晶片8A的相关方法,所述方法提供了减小的块状晶体材料70、90、92A、92的切割损失。这些方法可以包括SiC6H晶片8A与块状晶体材料70、90、92A、92的激光辅助分离。

本发明授权用于处理具有松弛正弯的碳化硅晶片的方法在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅晶片,包括: 暴露的硅面和碳面; 至少200毫米(mm)的直径;以及 从所述硅面的松弛正弯; 其中,所述松弛正弯在大于0μm至50μm的范围内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人沃孚半导体公司,其通讯地址为:美国北卡罗来纳州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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