深圳市阿赛姆电子有限公司陈伦森获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市阿赛姆电子有限公司申请的专利用于FAN-OUT工艺的ESD器件的检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120161270B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510645605.4,技术领域涉及:G01R31/00;该发明授权用于FAN-OUT工艺的ESD器件的检测方法及系统是由陈伦森;朱佳乐设计研发完成,并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于FAN-OUT工艺的ESD器件的检测方法及系统在说明书摘要公布了:本申请涉及电子设备检测技术领域,具体涉及用于FAN‑OUT工艺的ESD器件的检测方法及系统,该方法包括:对所有脉冲对应时间段的ESD保护器与被保护器件之间的第一电流数据进行独立成分分析,得到独立成分以及其在每个时间段的独立权重;分析每个时间段被保护器与电源之间第二电流数据的下降特性,分析每个独立成分与每个时间段第二电流数据的下降部分的相似特征,得到每个独立成分的寄生关联性;结合每次脉冲电流的宽度,得到每个独立成分的脉冲关联性,对寄生关联性进行修正,结合每个独立分量在每个时间段的独立权重,对第一电流数据进行重构;对ESD器件进行检测。本申请旨在减少因寄生效应导致的测量误差和误判风险。
本发明授权用于FAN-OUT工艺的ESD器件的检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.用于FAN-OUT工艺的ESD器件的检测方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: 获取ESD保护器与被保护器件之间的第一电流数据;获取被保护器与电源之间的第二电流数据; 基于脉冲对应的最长时间段中的数据个数,分别对每个时间段的第一电流数据、第二电流数据进行插值处理;对所有脉冲对应时间段的第一电流数据进行独立成分分析,得到第一电流数据的预设数量个独立成分以及其在每个时间段的独立权重; 分析每个时间段第二电流数据的下降特性,得到每个时间段第二电流数据的下降部分,分析第一电流数据每个独立成分与每个时间段第二电流数据的下降部分的相似特征,得到每个独立成分的寄生关联性; 根据第一电流数据在每次脉冲对应时间段的独立成分分解结果,结合每次脉冲电流的宽度,得到每个独立成分的脉冲关联性,对所述寄生关联性进行修正;根据每个独立成分修正后的寄生关联性结合每个独立分量在每个时间段的独立权重,对第一电流数据进行重构; 基于重构后的第一电流数据与预设电压下电流数据的偏差,对ESD器件进行检测。
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