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龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司;湖北云在上半导体有限公司申请的专利用于陶瓷静电吸盘的表面清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120115435B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510609627.5，技术领域涉及：B08B1/14；该发明授权用于陶瓷静电吸盘的表面清洗设备是由张桂华;刘畅;胡炳煌;刘锦豪设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于陶瓷静电吸盘的表面清洗设备在说明书摘要公布了：本申请公开了用于陶瓷静电吸盘的表面清洗设备，所述用于陶瓷静电吸盘的表面清洗设备包括：固定底座，旋转驱动单元，辅助恒温单元，清洗剂输送单元；为了解决现有技术中，普通的陶瓷静电吸盘擦洗设备，在针对异形曲面吸盘表面进行擦洗时，擦洗不均匀的问题，本申请设计了可变形的擦洗工具，通过擦洗工具能够针对不同结构的吸盘表面进行擦洗，可以充分与吸盘表面进行贴合接触进行擦洗，实现了均匀充分的擦洗效果，特别适合曲面静电吸盘，进一步的，为了解决长时间的摩擦升温或是环境温度过低导致的清洗效果不佳的问题，通过辅助恒温单元可以在擦洗时，自动进行水循环，保证了擦洗时的恒温效果，使得擦洗时的温度始终保持在一个固定的范围内。

本发明授权用于陶瓷静电吸盘的表面清洗设备在权利要求书中公布了：1.用于陶瓷静电吸盘的表面清洗设备，其特征在于：所述用于陶瓷静电吸盘的表面清洗设备包括： 固定底座（1），所述固定底座（1）的上表面处固定连接有机架壳（2）； 静电吸盘支撑单元（5）； 旋转驱动单元（3），所述旋转驱动单元（3）设置在机架壳（2）处，所述旋转驱动单元（3）的一端处固定连接有擦洗工具（4），所述擦洗工具（4）用于对陶瓷静电吸盘表面进行擦洗，所述擦洗工具（4）可依据静电吸盘曲面进行自适应弯曲； 辅助恒温单元（6），所述辅助恒温单元（6）固定设置在机架壳（2）的侧壁位置处，所述辅助恒温单元（6）与擦洗工具（4）之间连接，所述辅助恒温单元（6）用于在擦洗工具（4）旋转擦洗时，进行自动恒温水循环； 清洗剂输送单元（7），所述清洗剂输送单元（7）固定设置在机架壳（2）的侧壁位置处，所述清洗剂输送单元（7）用于在擦洗工具（4）旋转擦洗时，自动喷洒清洗剂； 所述旋转驱动单元（3）包括伺服电机（301）、旋转盘（302）、固定导杆（303）、移动滑块（304）、移动板（307）、齿条（308）、固定支架（309）、旋转杆（310）和转动杆（312），所述伺服电机（301）固定设置在机架壳（2）的外壁位置处，所述机架壳（2）的内腔中滑动连接有移动滑块（304），所述机架壳（2）的内腔上壁处固定连接有两个固定导杆（303），所述固定导杆（303）贯穿移动滑块（304）且与移动滑块（304）之间滑动配合，所述移动滑块（304）的底面处固定连接有固定杆（305），所述机架壳（2）的内腔中转动连接有旋转盘（302），所述伺服电机（301）的输出轴末端延伸至旋转盘（302）的中心且与旋转盘（302）之间固定连接，所述旋转盘（302）的侧壁处转动连接于连杆（306）的一端，所述连杆（306）的另一端延伸至固定杆（305）的底端处且与固定杆（305）之间转动连接； 所述擦洗工具（4）包括主擦板（401）、副擦板（402）、矩形杆（403）、矩形套杆（404）、弹簧A（405）、脚架（406）、矩形侧杆A（407）、弹簧B（409）和囊体（410），所述主擦板（401）的上表面处固定连接有矩形杆（403），所述矩形杆（403）上滑动连接有矩形套杆（404），所述矩形套杆（404）的内腔上壁处固定连接于弹簧A（405）的一端，所述弹簧A（405）的另一端与矩形杆（403）的上端固定连接，所述矩形套杆（404）的上端与旋转杆（310）的底端固定连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司;湖北云在上半导体有限公司，其通讯地址为：518106 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区大围平塘A5栋202；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。