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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆对准装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120033136B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510510401.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆对准装置是由常志勇;张贵东;侯双明;孟君燕设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆对准装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆对准装置，包括：承托件，包括吸盘部和承托主体，所述承托主体开设有连通的中心气道和导气分流槽，所述导气分流槽位于承托主体背离所述吸盘部的一端，所述吸盘部具有用于吸附晶圆的真空吸附区；驱动对准组件，用于驱动所述吸盘部与晶圆的圆心对准；旋转轴，转动连接在所述安装孔内，所述旋转轴与所述吸盘部的底部固定连接，所述旋转轴沿高度方向开设有多个分支气道，所述分支气道沿周向均布于所述旋转轴内部，所述旋转轴沿周向开设有环形气道；动密封件，相对转动套设在所述旋转轴外表面并形成第一动密封环面和第二动密封环面。采用上述方案，避免出现气压泄露导致负压不稳定出现掉片现象。

本发明授权一种晶圆对准装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对准装置，其特征在于，包括： 承托件（100），包括吸盘部（101）和承托主体（102），所述承托主体（102）开设有连通的中心气道（103）和导气分流槽（104），所述导气分流槽（104）位于承托主体（102）背离所述吸盘部（101）的一端，所述吸盘部（101）具有用于吸附晶圆的真空吸附区； 驱动对准组件，用于驱动所述吸盘部（101）与晶圆的圆心对准，包括升降板（400），所述升降板（400）内开设有安装孔； 旋转轴（200），转动连接在所述安装孔内，所述旋转轴（200）与所述吸盘部（101）的底部固定连接，所述旋转轴（200）沿高度方向开设有多个分支气道（201），所述分支气道（201）沿周向均布于所述旋转轴（200）内部，所述旋转轴（200）沿周向开设有环形气道（202）； 动密封件（300），相对转动套设在所述旋转轴（200）外表面并形成第一动密封环面和第二动密封环面； 其中，多个所述分支气道（201）的一端与所述导气分流槽（104）连通，另一端与所述环形气道（202）连通，所述环形气道（202）用于与外部连通，所述第一动密封环面和第二动密封环面分设于所述环形气道（202）的轴向上下两侧，以形成对所述环形气道（202）的密封隔离。

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