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苏州首拓信息科技有限公司王超获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州首拓信息科技有限公司申请的专利一种半导体生产过程质量的智能管控系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120048773B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510511643.0,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种半导体生产过程质量的智能管控系统及方法是由王超设计研发完成,并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体生产过程质量的智能管控系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体器件测试技术领域,具体为一种半导体生产过程质量的智能管控系统及方法,获取待测半导体器件的目标应用场景信息;利用第一智能测试模型,依据所述目标应用场景信息,生成与所述目标应用场景相匹配的基线测试严苛度配置,所述基线测试严苛度配置包括多个测试参数的测试极限值、测试项选择和测试条件;在测试过程中,实时获取并分析与所述待测半导体器件相关的质量反馈数据和上游工艺数据,获得半导体实时数据;利用半导体质量调整模型,将所述半导体实时数据与所述基线测试严苛度配置进行综合分析,动态调整基线测试严苛度配置,并生成最终测试严苛度配置;基于所述最终测试严苛度配置生成控制指令,对所述半导体器件进行测试。

本发明授权一种半导体生产过程质量的智能管控系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体生产过程质量的智能管控系统,其特征在于,半导体测试阶段包括: 信息获取模块,用于获取待测半导体器件的目标应用场景信息,所述目标应用场景信息包括预设的可靠性要求、工作条件参数和风险等级; 基线配置生成模块,用于利用第一智能测试模型,依据所述目标应用场景信息,生成与所述目标应用场景相匹配的基线测试严苛度配置,所述基线测试严苛度配置包括多个测试参数的测试极限值、测试项选择和测试条件; 实时数据监控模块,用于在测试过程中,实时获取并分析与所述待测半导体器件相关的质量反馈数据和上游工艺数据,获得半导体实时数据;所述上游工艺数据包括来自制造执行系统的关键工艺步骤参数监控值、设备状态信息以及来自上游工序的故障检测与分类警报; 动态调整模块,用于利用半导体质量调整模型,将所述半导体实时数据与所述基线测试严苛度配置进行综合分析,动态调整基线测试严苛度配置,并生成最终测试严苛度配置; 测试控制模块,用于基于所述最终测试严苛度配置生成控制指令,对所述半导体器件进行测试。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州首拓信息科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区星湖街328号创意产业园五期9-803单元;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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