中科艾科米(北京)科技有限公司陈微获国家专利权
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龙图腾网获悉中科艾科米(北京)科技有限公司申请的专利粉体包覆反应设备及粉体包覆方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120006259B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510486764.4,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权粉体包覆反应设备及粉体包覆方法是由陈微设计研发完成,并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本粉体包覆反应设备及粉体包覆方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种粉体包覆反应设备及粉体包覆方法,涉及原子层沉积技术领域。本发明的粉体包覆反应设备包括:主体,所述主体内具有包覆腔,所述包覆腔的上部设置有用于与抽气装置相连的抽气口,所述包覆腔的底部设置有出料口,所述包覆腔的下部设置有前驱体入口,所述前驱体入口用于将前驱体通入所述包覆腔中并形成前驱体螺旋;螺旋入料结构,其安装于所述主体的上方,所述螺旋入料结构与所述包覆腔的上部相连通,所述螺旋入料结构用于将粉体通入所述包覆腔中形成粉体螺旋。实现了包覆工艺中粉体的连续进料,大幅提高了包覆工艺的效率,而且能够将粉体分散,保证粉体的包覆质量。
本发明授权粉体包覆反应设备及粉体包覆方法在权利要求书中公布了:1.一种粉体包覆反应设备,其特征在于,其包括: 主体,所述主体内具有包覆腔,所述包覆腔的上部设置有用于与抽气装置相连的抽气口,所述包覆腔的底部设置有出料口,所述包覆腔的下部设置有前驱体入口,所述前驱体入口用于将前驱体通入所述包覆腔中并形成前驱体螺旋; 螺旋入料结构,其安装于所述主体的上方,所述螺旋入料结构与所述包覆腔的上部相连通,所述螺旋入料结构用于将粉体通入所述包覆腔中形成粉体螺旋; 其中,所述粉体螺旋在重力作用下螺旋下降,而所述前驱体螺旋在所述抽气装置的抽气下螺旋上升,使得粉体与前驱体在所述包覆腔内接触并形成粉体包覆产品; 所述包覆腔包括变径段,所述变径段位于所述螺旋入料结构至所述前驱体入口之间,且所述变径段处的包覆腔内径由下至上逐渐缩小。
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