哈尔滨工业大学崔俊宁获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115371553B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211001793.X,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪是由崔俊宁;赵东方;边星元;谭久彬设计研发完成,并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪在说明书摘要公布了:本发明涉及一种动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪,属于精密测量设备技术领域;包括主机座和立向支撑柱,两根立向支撑柱的顶部设置有轴座;主机座上侧设置有移动机构,样品固配座跟随移动机构运动,在样品固配座的上侧面竖直设置有相互垂直的激光反射镜;在轴座上沿竖直方向滑动设置有立轴,立轴的下端安装有吊挂架,吊挂架下端设置有探针及激光干涉仪。通过采用上述方案,能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
本发明授权动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪在权利要求书中公布了:1.一种动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪,其特征在于:包括主机座1-3、在所述主机座1-3的上侧间隔设置有立向支撑柱1-2,两根所述立向支撑柱1-2的顶部设置有轴座1-1; 所述主机座1-3上侧且位于两根立向支撑柱1-2之间对称设置有纵向导轨3-6、纵向导轨3-6上安装有可纵向往复移动的纵向运动轴3-4,横向气浮轴套3-5可横向往复运动的套装在所述纵向运动轴3-4上; 所述横向气浮轴套3-5上方设置有样品固配座3-9上,样品固配座3-9安装在横向气浮轴套3-5上端面,所述样品固配座3-9左侧端部及右侧端部分别使用反射镜支撑架3-8固装有第一激光反射镜3-2及第二激光反射镜3-1,样品固配座3-9后侧固装有纵向激光反射镜3-3,所述第一激光反射镜3-2、第二激光反射镜3-1及纵向激光反射镜3-3激光反射面在空间中相互垂直;样品固配座3-9上端面且位于两个反射镜支撑架3-8及纵向激光反射镜3-3之间设置有回转轴3-7; 所述轴座1-1上沿竖直方向滑动设置有立向移动机构4;立向移动机构4中包含立轴4-1、立轴纳米电机4-2、缓冲气缸4-3、气缸固定块4-4、立向连接孔4-5、安装槽4-6、固定槽4-7;所述轴座1-1上设置有控制所述立轴4-1沿竖直方向移动的立轴纳米电机4-2,以及设置缓冲气缸4-3对立轴4-1进行重力补偿; 所述轴座1-1沿竖直方向开设有贯穿的立向连接孔4-5;所述立向连接孔4-5的内壁开设有安装槽4-6;驱动机构700包括固定于所述安装槽4-6内的立轴纳米电机4-2,所述立轴纳米电机4-2的输出轴沿直线移动,且可带动所述立轴4-1沿竖直方向滑动; 所述立轴4-1竖直两侧,靠近探针2-2的一端分别开设固定槽4-7,所述缓冲气缸4-3由气缸固定块4-4固定安装于所述立向连接孔4-5内壁,且缓冲气缸4-3的伸缩端连接所述固定槽4-7内壁;探针2-2由吊挂架2-1连接至立轴4-1下端面; 所述吊挂架2-1上固装有第二激光干涉仪2-3、第一激光干涉仪2-4、纵向激光干涉仪2-5,所述第一激光干涉仪2-4、第二激光干涉仪2-3和纵向激光干涉仪2-5发射出的激光光线依次分别与第一激光反射镜3-2、第二激光反射镜3-1和纵向激光反射镜3-3垂直,且其发射的激光光线中的测距光束正交汇聚在探针2-2的测头中心。
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