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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115388771B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211003530.2，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪是由崔俊宁;赵东方;边星元;谭久彬设计研发完成，并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪在说明书摘要公布了：基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪属于精密测量仪器；本测量仪中探针与第一激光反射镜、第二激光反射镜、纵向激光反射镜一体化设计，置于角度位移测量组件相对内侧空间；探针及激光干涉仪固定于零膨胀微晶玻璃上，消除了超精密测量仪器中热膨胀误差对测量精度的影响；使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。

本发明授权基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪在权利要求书中公布了：1.一种基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪，其特征在于：包括主机座100，在所述主机座100的上侧间隔设置有立向支撑柱200，两根所述立向支撑柱200的顶部设置有轴座300； 所述主机座100上侧且位于两根立向支撑柱200之间设置有横向纵向移动机构400，所述横向纵向移动机构400的上侧面设置角度位移测量组件600； 所述轴座300上沿竖直方向滑动设置有立轴710；所述轴座300上设置有控制所述立轴710沿竖直方向移动的立轴纳米电机720，以及设置缓冲气缸730对立轴710进行重力补偿； 所述立轴710竖直两侧，靠近探针组件500的一端分别开设固定槽770，所述缓冲气缸730由缓冲气缸固定块740固定安装于所述立向连接孔750内壁，且缓冲气缸730的伸缩端连接所述固定槽770内壁；探针组件500由立向连接块510连接至立轴710下端面； 所述角度位移测量组件600由第一激光干涉仪610、第二激光干涉仪620、纵向激光干涉仪630、纵向干涉仪底座640、测量支撑架660组成，第一激光干涉仪610、第二激光干涉仪620安装于测量支撑架660上端斜面、纵向激光干涉仪630安装于纵向干涉仪底座640上端面，测量支撑架660相对空间内侧样品固配面670处安装有回转轴650；所述角度位移测量组件600安装于横向运动块430上端面； 所述探针组件500由立向连接块510、第一激光反射镜520、第二激光反射镜530、纵向激光反射镜540、探针550组成，第一激光反射镜520、第二激光反射镜530、纵向激光反射镜540正交安装；探针550安装于第一激光反射镜520、第二激光反射镜530、纵向激光反射镜540相对空间内侧； 所述探针组件500安装于角度位移测量组件600相对空间内侧； 所述纵向干涉仪底座640、测量支撑架660、立向连接块510、第一激光反射镜520、第二激光反射镜530及纵向激光反射镜540由微晶玻璃制成； 所述第一激光干涉仪610、第二激光干涉仪620、纵向激光干涉仪630产生测距激光光线汇聚于探针550测头测球。

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