学校法人关西学院;丰田通商株式会社金子忠昭获国家专利权
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龙图腾网获悉学校法人关西学院;丰田通商株式会社申请的专利温度分布评价方法、温度分布评价装置以及均热范围的评价方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114144644B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080030893.8，技术领域涉及：G01K3/14；该发明授权温度分布评价方法、温度分布评价装置以及均热范围的评价方法是由金子忠昭;堂岛大地;芦田晃嗣;井原知也设计研发完成，并于2020-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度分布评价方法、温度分布评价装置以及均热范围的评价方法在说明书摘要公布了：本发明的目的是提供一种新颖的温度分布评价方法、温度分布评价装置以及均热范围的评价方法，所述温度分布评价方法对加热装置40所具备的加热区域40A的温度分布进行评价，其中，在所述加热区域40A中对半导体衬底10和用于与该半导体衬底10相互输送原料的收发体20进行加热，基于所述半导体衬底10的衬底厚度变化量A评价所述加热区域40A的温度分布。由此，可以实现由于热电偶的材料限制而难以实现的1600至2200℃等的高温度区域的温度分布评价。
本发明授权温度分布评价方法、温度分布评价装置以及均热范围的评价方法在权利要求书中公布了：1.一种温度分布评价方法，对加热装置所具备的加热区域的温度分布进行评价，其中，在所述加热区域中对半导体衬底和与该半导体衬底相互输送原料的收发体进行加热，基于所述半导体衬底的衬底厚度变化量评价所述加热区域的温度分布，所述原料是从所述半导体衬底和所述收发体中的至少一方产生的升华气体。
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