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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利扩展装置、扩展方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111834274B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010273122.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权扩展装置、扩展方法是由松田智人;川口吉洋;齐藤亮太设计研发完成，并于2020-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本扩展装置、扩展方法在说明书摘要公布了：提供扩展装置、扩展方法，高效率地实施扩展片的收缩。该扩展装置对被加工物单元的扩展片进行扩展，该被加工物单元包含被加工物、粘贴于该被加工物的扩展片以及供该扩展片的外周侧粘贴的环状框架，该扩展装置具有能够对扩展片进行扩展的扩展单元以及对扩展片进行加热而使其收缩的片收缩单元，该片收缩单元包含热风喷出口、空气提供路、对该空气提供路的内部进行加热的加热单元以及对来自空气提供源的空气的提供和阻断进行控制的阀，该片收缩单元将该阀打开而向该空气提供路提供该空气，能够从该热风喷出口喷射加热的该空气，该片收缩单元通过将该阀关闭而能够不使该加热单元停止而停止从该热风喷出口喷射加热的该空气。

本发明授权扩展装置、扩展方法在权利要求书中公布了：1.一种扩展装置，其对被加工物单元的扩展片进行扩展，该被加工物单元包含被加工物、粘贴于该被加工物的该扩展片以及供该扩展片的外周侧粘贴的环状框架，其特征在于， 该扩展装置具有： 框架保持单元，其能够对该被加工物单元的该环状框架进行保持； 扩展单元，其能够对具有被该框架保持单元保持的该环状框架的该被加工物单元中所包含的该扩展片进行扩展；以及 片收缩单元，其对具有被该框架保持单元保持的该环状框架的该被加工物单元中所包含的该扩展片的位于该被加工物的外周与该环状框架的内周缘之间的区域进行加热而使该扩展片的该区域收缩，从而减小通过该扩展单元进行扩展而产生了松弛的该扩展片的该松弛， 该片收缩单元包含： 热风喷出口，其与该扩展片面对； 空气提供路，其一端与该热风喷出口连通，并且另一端与空气提供源连接； 加热单元，其对该空气提供路的内部进行加热，由此对从该空气提供源提供的空气进行加热； 阀，其对来自该空气提供源的空气的提供和阻断进行控制； 开关，其对该加热单元的加热和加热的停止进行切换； 遮板，其以与该加热单元的配置对应的配置具有开口；以及 旋转电动机，其通过使该遮板旋转，使该开口的位置与该加热单元的位置对齐，并且使该加热单元的位置与该开口的位置错开， 该片收缩单元通过该旋转电动机使该开口的位置与该加热单元的位置对齐，并且将该阀打开而从该空气提供源向该空气提供路提供该空气，在该空气提供路中利用该加热单元对该空气进行加热，由此能够从该热风喷出口通过该开口向该扩展片的该区域喷射已加热的该空气， 该片收缩单元将该阀关闭而阻断从该空气提供源向该空气提供路提供空气，由此能够不使该加热单元停止而停止从该热风喷出口喷射已加热的该空气，并且通过该旋转电动机使该加热单元的位置与该开口的位置错开，由此能够遮蔽从该加热单元向该扩展片的热的传递。

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