前进材料科技株式会社木岛健获国家专利权
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龙图腾网获悉前进材料科技株式会社申请的专利膜结构体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111799363B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010219883.0,技术领域涉及:H10N30/853;该发明授权膜结构体是由木岛健;小西晃雄设计研发完成,并于2020-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本膜结构体在说明书摘要公布了:本发明提供一种膜结构体,能够使含有锆钛酸铅的压电膜的压电特性提高。膜结构体構造体具有:基体11;形成于基体11上,并且含有锆钛酸铅的下部压电膜21;形成于下部压电膜21上,并且含有锆钛酸铅的上部压电膜22。基体11具有压缩应力,下部压电膜21和上部压电膜22均具有拉伸应力,下部压电膜21的弹性常数大于上部压电膜22的弹性常数。
本发明授权膜结构体在权利要求书中公布了:1.一种膜结构体,其具有: 基体; 第一压电膜,其形成于所述基体上,并且含有锆钛酸铅; 第二压电膜,其形成于所述第一压电膜上,并且含有锆钛酸铅, 所述基体具有压缩应力, 所述第一压电膜和所述第二压电膜均具有拉伸应力, 所述第一压电膜的杨氏模量大于所述第二压电膜的杨氏模量, 所述第一压电膜的压电常数d31小于所述第二压电膜的压电常数d31。
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