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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111584392B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010092530.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由丰永真臣;蓑手文隆;时松徹;石丸和俊;香月信吾;村上孝设计研发完成，并于2020-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置和基板处理方法。提供能得到较高生产率且使基板的输送路径的设定自由度较高的技术。其包括：容器载置部，其载置收容多张基板的收容容器；多个基板处理部，其分别处理基板；第1基板输送机构，其具有移动自如的基台以及第1基板保持部和第2基板保持部，第1基板保持部和第2基板保持部设为在基台上独立地前后移动自如，以使基板左右方向上的缘部开放的方式自下方分别支承基板左右方向上靠中央部的位置，第1基板保持部和第2基板保持部一起前进而一齐相对于收容容器交接基板；以及互相层叠的多个第1基板载置部，其分别载置基板而与各基板处理部交接基板，第1基板保持部和第2基板保持部单独地在基台上前进来交接基板。

本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于， 该基板处理装置包括： 容器载置部，其载置收容多张基板的收容容器； 互相层叠的第1单位模块、第2单位模块、第3单位模块和第4单位模块，各单位模块均具备分别对所述基板进行处理的多个基板处理部、以及输送所述基板的输送路径； 第1基板输送机构，其具有移动自如的基台以及第1基板保持部和第2基板保持部，该第1基板保持部和第2基板保持部设为在该基台上独立地前后移动自如，并且，以使所述基板的左右方向上的缘部开放的方式自下方分别支承该基板的左右方向上的靠中央部的位置； 互相层叠的多个第1基板载置部，其以分别载置所述基板从而相对于所述各单位模块的基板处理部交接所述基板的方式设于每个单位模块；以及 控制部，其控制所述第1基板输送机构的动作， 其中，分别与所述第1单位模块和所述第2单位模块对应的第1基板载置部包括一个第1基板载置部和另一个第1基板载置部， 所述控制部输出控制信号以执行以下步骤， 使所述第1基板保持部和所述第2基板保持部在所述基台上一起前进从而一齐自所述收容容器收取所述基板，接着使所述第1基板保持部和所述第2基板保持部在所述基台上单独前进并向分别与所述第1单位模块和所述第2单位模块对应的所述一个第1基板载置部输送所述基板；以及 使所述第1基板保持部和所述第2基板保持部在所述基台上单独前进并自分别与所述第1单位模块和所述第2单位模块对应的所述另一个第1基板载置部收取所述基板，接着使所述第1基板保持部和所述第2基板保持部在所述基台上单独前进并向分别与所述第3单位模块和所述第4单位模块对应的第1基板载置部输送所述基板。

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