北京鼎材科技有限公司侯少堃获国家专利权
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龙图腾网获悉北京鼎材科技有限公司申请的专利一种感光树脂组合物及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113031394B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911251298.2,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权一种感光树脂组合物及其应用是由侯少堃;刘永祥;桑伟;刘琴;刘嵩设计研发完成,并于2019-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种感光树脂组合物及其应用在说明书摘要公布了:本发明涉及一种感光树脂组合物及其应用,所述感光树脂组合物包括碱可溶性树脂、光可聚合性化合物和光聚合引发剂以及可选的着色剂、助剂和溶剂;所述碱可溶性树脂具有式I所示的结构;本发明的感光树脂组合物中选用式I所示的含有不饱和乙烯基结构的碱溶性树脂,使感光性树脂组合物在曝光阶段进行树脂间的交联聚合更容易形成网状大分子链,增加了光阻底部的聚合程度,即使在100s显影时也无咬边问题,具有良好的显影宽裕度,边线整齐度和膜残留均十分优异,且耐热性好。
本发明授权一种感光树脂组合物及其应用在权利要求书中公布了:1.一种感光树脂组合物,其特征在于,所述感光树脂组合物包括碱可溶性树脂、光可聚合性化合物和光聚合引发剂; 所述碱可溶性树脂具有式I所示的结构; 式I中,所述R1和R2各自独立地选自-OH或丙烯酸酯基,且R1和R2中至少有一个为丙烯酸酯基; 式I中,所述R3选自C1~C12烷基、C6~C30芳基或羧基中的任意一种; 式I中,所述R4选自-H、C1~C12烷基或C6~C30芳基中的任意一种或至少两种连接而成的基团; 式I中,所述R5和R6各自独立地选自-H或-CORCOOH,且R5和R6中至少有一个为-CORCOOH,所述R选自C1~C12亚烷基; 式I中,所述R7、R8和R9各自独立地选自-H或甲基; 式I中,p+mp+m+n+o=10~80%,np+m+n+o=0~30%,op+m+n+o=0~20%。
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