陕西铟杰半导体有限公司黄小华获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西铟杰半导体有限公司申请的专利一种磷化铟多晶材料合成用自动控制装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223150694U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521212759.6,技术领域涉及:C30B28/06;该实用新型一种磷化铟多晶材料合成用自动控制装置是由黄小华;陈龙;刘志勇设计研发完成,并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磷化铟多晶材料合成用自动控制装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种磷化铟多晶材料合成用自动控制装置,包括炉体,所述炉体的内壁固定连接有送气管,所述炉体的内壁固定连接有出气管,所述炉体的内壁固定连接有加热套筒,所述加热套筒的内部安装有石英管,所述加热套筒的内部固定连接有温度传感器和气压传感器,所述加热套筒的内壁固定连接有控制热电偶。本实用新型根据反应各阶段的温度要求,计算出将每阶段的设备需要提供的温场分布,并生成分布曲线图设定于控制柜内上位机,显示控制器通过温度传感器采集炉体内各点位温度及进出口水温,与上位机温度设定值进行比对计算,再通过电源功率输出计算器计算出电源实时工作功率及冷却水流量,实现对炉内温度精准调控。
本实用新型一种磷化铟多晶材料合成用自动控制装置在权利要求书中公布了:1.一种磷化铟多晶材料合成用自动控制装置,包括炉体(1),其特征在于,所述炉体(1)的内壁固定连接有送气管(3),所述炉体(1)的内壁固定连接有出气管(22),所述炉体(1)的内壁固定连接有加热套筒(7),所述加热套筒(7)的内部安装有石英管(11),所述加热套筒(7)的内部固定连接有温度传感器(10)和气压传感器(20),所述加热套筒(7)的内壁固定连接有控制热电偶(9),所述送气管(3)的内部设置有自动调压机构。
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