上海邦芯半导体科技有限公司沈康获国家专利权
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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利一种工艺过程中自动调节PID参数的方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120221470B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510695273.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种工艺过程中自动调节PID参数的方法和系统是由沈康;周正;涂乐义;王兆祥;梁洁设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工艺过程中自动调节PID参数的方法和系统在说明书摘要公布了：一种工艺过程中自动调节PID参数的方法和系统，属于半导体加工技术领域，该方法和系统通过在一定的PID参数下循环模拟晶圆传送及工艺流程，获取在流程中调试用晶圆的温度波动情况、工艺过程中温度平均值、功率波动、及功率输出情况等工艺指标，根据工艺指标的表现对PID参数值进行自动化调节，并基于调节后的参数对调试用晶圆进行进一步循环测试，如此迭代优化，直至自动化找出最优的PID参数。该方法能够快速、自动找到最优的PID参数，显著减少了人工调节参数的工作量。
本发明授权一种工艺过程中自动调节PID参数的方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种工艺过程中自动调节PID参数的方法，其特征在于，包括以下步骤： S1，将工艺过程中的主反应气体移除，用等流量惰性气体代替，以保证调试用晶圆表面不发生反应； S2，将一组调试用晶圆放到机台上，设定初步的PID参数； S3，基于设定的参数，模拟至少一轮机台量产时的晶圆传送及工艺流程，获取在流程中每片调试用晶圆的工艺指标，包括：温度波动情况、工艺过程中温度平均值、功率波动、及功率输出情况； S4，判断基于当前PID参数得到的工艺指标数据是否符合工艺要求，包括： 每片晶圆的温度波动情况是否均符合设定的标准要求； 各片晶圆的工艺过程中温度平均值与设定值的偏差量是否在设定标准内； 功率波动情况是否在设定的标准之内； 功率输出是否不存在100%或0%功率输出的极限状态； S5，如果其中某项指标不符合要求，则进入PID自动调节流程对PID参数进行自动调节，其中，每次参数调节后，都重复步骤S3进行模拟测试； 由此得到各项指标均满足工艺要求的PID参数取值。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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