霖鼎光学(上海)有限公司任明俊获国家专利权
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龙图腾网获悉霖鼎光学(上海)有限公司申请的专利基于标定板的激光干涉面形测量方法、介质、设备及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120176574B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510671568.4,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于标定板的激光干涉面形测量方法、介质、设备及系统是由任明俊;张鑫泉;张哲;生国清设计研发完成,并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于标定板的激光干涉面形测量方法、介质、设备及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及激光测量技术领域,特别是涉及基于标定板的激光干涉面形测量方法、介质、设备及系统。包括:将反射镜贴设于参考镜上,获取反射镜的反射面形数据;将标定玻璃板紧贴夹设于反射镜与参考镜之间,获取标定玻璃板的迎光面反射面形数据及混合透射面形数据;将反射镜移除,沿激光光轴移动标定玻璃板到预设测量距离,通过激光干涉仪进行多表面同步测量,分别获取迎光面混合反射面形数据与待测面形混合数据;再获取待测面的目标面形数据。本发明中,通过引入可移动的标定玻璃板建立双基准测量体系,可实现气流扰动误差的空间标定。本发明结构简单,对于测量环境要求较低。仅需要进行单次测量,即可排除空气扰流的干扰,节省测量时间。
本发明授权基于标定板的激光干涉面形测量方法、介质、设备及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于标定板的激光干涉面形测量方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤: 将反射镜贴设于激光干涉仪的参考镜上,通过激光干涉仪获取所述反射镜的反射面形数据A; 将标定玻璃板紧贴夹设于所述反射镜与所述参考镜之间,通过激光干涉仪获取所述标定玻璃板的迎光面反射面形数据B1及混合透射面形数据C1;所述标定玻璃板为具有迎光面反射和双面透过性的光学玻璃板,标定玻璃板的迎光面设置于靠近参考镜的一侧; 将所述反射镜移除,沿激光光轴移动标定玻璃板到预设测量距离,将待测件的待测面一侧紧贴于标定玻璃板的背光面一侧设置,通过所述激光干涉仪进行多表面同步测量,分别获取标定玻璃板的迎光面混合反射面形数据B2与待测面形混合数据C2;所述参考镜、标定玻璃板、反射镜及待测件均为平面部件; 根据A、B1、B2、C1及C2,获取所述待测面的目标面形数据D;D满足如下条件: D=C2-(B2-B1)-(C1-A)。
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