上海积塔半导体有限公司常润先获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种晶圆探测装置及揭膜机设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155981U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422293714.8，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种晶圆探测装置及揭膜机设备是由常润先;郁滨滨设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆探测装置及揭膜机设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆探测装置及揭膜机设备。本实用新型的晶圆探测装置包括晶圆承载台、光纤传感器组件和处理单元。光纤传感器组件设置于晶圆承载台的正上方，并且光纤传感组件在晶圆承载台上的投影位于晶圆承载台的中心区域，光纤传感器组件与晶圆之间具有一段预设距离，光纤传感器组件包括多个光电传感器。当晶圆处于正确位置时，每个光电传感器检测到的光电传感器与晶圆边缘线之间的距离为标准距离。处理单元与光纤传感组件通信连接，以接收表征光纤传感器组件与晶圆之间距离的测量信号，根据测量信号判断晶圆承载台上的晶圆是否处于正确位置，由此可以将晶圆放回至正确位置，或者取下不在正确位置的晶圆，避免晶圆破片。
本实用新型一种晶圆探测装置及揭膜机设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆探测装置，其特征在于，包括： 晶圆承载台，用于承载晶圆； 光纤传感器组件，设置于所述晶圆承载台的正上方，并且所述光纤传感器组件在所述晶圆承载台上的投影位于所述晶圆承载台的中心区域，所述光纤传感器组件与所述晶圆之间具有一段预设距离，所述光纤传感器组件包括多个光电传感器； 处理单元，与所述光纤传感器组件通信连接，以接收表征所述光纤传感器组件与所述晶圆之间距离的测量信号，并根据所述测量信号判断所述晶圆承载台上的所述晶圆是否处于正确位置。
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